[发明专利]液体运输装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体设备的零部件领域，更具体地说，涉及一种易挥发液体的运输装置。

背景技术

在半导体工艺过程中，需要使用到各种液体，其中部分的液体是易挥发液体，比如高纯度的酒精或者异丙醇(IPA)。这些易挥发液体需要放置在密封的容器中。如果运输这些液体的容器和使用时盛放这些液体的容器不同，那么在使用时还需要将液体从运输时的容器中取出再放入到使用时的容器中，这对于易挥发的液体来说会造成很大的损耗。于是，希望易挥发液体在工艺过程中的盛放装置能兼具运输装置的功能。在运输后直接能够被安装到设备上进行工艺过程中的使用。

发明内容

本发明旨在提出一种兼具使用和运输功能的液体运输装置。

根据本发明的一实施例，提出一种液体运输装置，包括：

本体，本体的顶部开口，本体的侧壁上具有支架，本体的底部开孔，开孔由孔塞封闭；

盖，盖于本体的顶部的开口上，盖与开口之间密封，盖上具有进气接口、排气接口、液位计接口和出液接口；

进气管路，连接到进气接口，进气管路向本体内导入惰性气体，进气管路和进气接口之间密封连接；

排气管路，连接到排气接口，排气管路和排气接口之间密封连接，排气管路上安装有压力控制阀，当本体内的气体压力高于压力控制阀的设定压力时，压力控制阀打开，本体内的气体由排气管路排出；

液位计，通过液位计接口延伸到本体内，液位计显示本体内的液体高度；

出液管，连接到出液接口，出液管延伸到本体底部。

在一个实施例中，本体和盖是不锈钢材质。

在一个实施例中，惰性气体是氮气。

在一个实施例中，压力控制阀的设定压力为0.05psi～5psi。

在一个实施例中，液位计从液位计接口向下延伸到本体的底部。

在一个实施例中，装入液体时，去除盖、进气管路、排气管路、液位计和出液管，向本体内装入液体，完成装入后盖上盖并密封。

在一个实施例中，运送液体时，封闭盖上的进气接口、排气接口、液位计接口和出液接口，去除进气管路、排气管路、液位计和出液管，连同该液体运输装置一起运送液体。

在一个实施例中，使用液体时，装上进气管路、排气管路、液位计和出液管，通过进气管路向本体内输入惰性气体，提高本体内的气体压力，通过气体压力将本体内的液体从出液管中压出，当液位计显示本体内的液体高度低于设定值时，停止向本体内输入惰性气体。

在一个实施例中，每次使用完毕后，去除盖、进气管路、排气管路、液位计和出液管，去除本体底部的孔塞，将本体内的残余液体从开孔中排除，清洗本体。

本发明的液体运输装置能密封地运送液体，并且具有支架可以安装到半导体设备上直接使用。该液体运输装置的盖上具有各种气体和液体的进出管路，能够满足半导体工艺的使用需求。

附图说明

本发明上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变的更加明显，在附图中相同的附图标记始终表示相同的特征，其中：

图1揭示了根据本发明的一实施例的液体运输装置的结构图。

图2a和图2b揭示了根据本发明的一实施例的液体运输装置中本体的结构图。

具体实施方式

参考图1所示，揭示了根据本发明的一实施例的液体运输装置。如图1所示，该液体运输装置包括：本体102、盖104、进气管路106、排气管路108、液位计110和出液管112。

图2a和图2b揭示了根据本发明的一实施例的液体运输装置中本体的结构图。其中图2a是本体的正面视图，图2b是本体的侧面视图。如图2所示，本体102的顶部开口，本体102的侧壁上具有支架121。支架121的作用是将本体102安装到本导体设备中，通过支架121，本体102可以直接被用作工艺过程中的盛放装置而在半导体设备中被使用。本体102的底部具有开孔122，开孔122由孔塞123封闭。在一个实施例中，本体由耐腐蚀材料制作，比如不锈钢。

继续参考图1，盖104盖于本体102的顶部的开口上，盖104与开口之间密封。盖104与本体102的开口之间的密封技术为本领域的惯用技术，因此此处不做描述。盖104上具有进气接口141、排气接口142、液位计接口143和出液接口144。在一个实施例中，盖由耐腐蚀材料制作，比如不锈钢。