[发明专利]一种光学八细分线性干涉仪

权利要求书

1.一种光学八细分线性干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(100)、矩形角镜(200)、第一四分之一波片(300)、第二四分之一波片(500)、第一角锥棱镜(400)和第二角锥棱镜(600)，其中，所述矩形角镜(200)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的一个侧面的上半部分，且矩形角镜(200)的胶合面、偏振分光棱镜(100)的入射面和分束面交于同一侧棱；所述第一四分之一波片(300)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的正对面；第二四分之一波片(500)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的另一个侧面；所述第一角锥棱镜(400)作为测量臂角锥棱镜，与被测对象固结且其折射面对应第一四分之一波片(300)，所述第二角锥棱镜(600)作为参考臂角锥棱镜，且其折射面对应第二四分之一波片(500)。

2.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一四分之一波片(300)和第二四分之一波片(500)在矩形角镜(200)对应高度的出射面上镀增透膜，在其余位置镀高反膜。

3.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一四分之一波片(300)的上半部分(301)和第二四分之一波片(500)的上半部分(501)均镀增透膜，第一四分之一波片(300)的下半部分(302)和第二四分之一波片(500)的下半部分(502)均镀高反膜。

4.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一四分之一波片(300)和第二四分之一波片(500)为采用相同材料和工艺制造的真零级波片，并按玻璃、石英波片、玻璃的三明治结构胶合，具有相同的光学厚度，且波片光轴均沿对角线方向。

5.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一角锥棱镜(400)和第二角锥棱镜(600)采用相同玻璃制造，镀铝反射膜，且两镜顶点到各自镜底面的距离相同。

6.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述光学八细分线性干涉仪的入射光源来自双频激光器，包含垂直偏振输出频率f₁和水平偏振输出频率f₂，且两频率之差在几十MHz以内。

7.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，入射光束经偏振分光棱镜(100)分束后，参考光路四次往返于第二角锥棱镜(600)，测量光路四次往返于第一角锥棱镜(400)。

8.根据权利要求7所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，参考光路和测量光路合束后输出光信号经光电检测与相位解算，计算出位移信息，所求位移量是光程变化量的1/8。