[发明专利]光偏转器、光偏转器的制造方法及光扫描装置

权利要求书

1.一种光偏转器，其包括：

固定部；以及

可动部，具有：镜部，绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转；扭杆，被固定支承于所述固定部，具备作为所述摇动轴的轴线；以及支承体，支承所述镜部，被固定于所述扭杆，

其中，所述支承体具备所述轴线经过的孔部，

在所述孔部中配置有用于调整所述可动部的谐振频率的质量体，

所述镜部是包含偏转光的偏转面和与该偏转面相反侧的非偏转面的板状构件，

所述孔部贯通所述支承体，

所述镜部的非偏转面构成所述孔部的底面，

所述孔部在所述镜部摇动时位移，

所述支承体包含：第1支承构件，沿与所述扭杆交叉的方向延伸；第2支承构件，与所述第1支承构件相对配置，沿与所述扭杆交叉的方向延伸；第3支承构件，将所述第1支承构件和所述第2支承构件相连接；第4支承构件，以所述扭杆为中心与所述第3支承构件对称配置，将所述第1支承构件和所述第2支承构件相连接；以及第5支承构件，具有所述孔部，

所述支承体具备由所述第1支承构件、所述第2支承构件、所述第3支承构件及所述第4支承构件界定的空间部，

所述第5支承构件被配置于所述空间部，

所述扭杆包含：在所述第1支承构件的中央被固定于该第1支承构件的第1扭杆；以及在所述第2支承构件的中央被固定于该第2支承构件的第2扭杆，

所述光偏转器的特征在于，还包括：

第1肋及第2肋，加强所述支承体，其中，

所述支承体包含与所述镜部抵接的抵接面和与该抵接面相反侧的非抵接面，

所述第1肋沿与所述扭杆交叉的方向延伸，且以向所述非抵接面侧突出的方式设置于所述第1支承构件，

所述第2肋沿与所述扭杆交叉的方向延伸，且以向所述非抵接面侧突出的方式设置于所述第2支承构件。

2.根据权利要求1所述的光偏转器，其特征在于：所述孔部的数量为一个，一个所述质量体被配置于所述孔部。

3.根据权利要求1所述的光偏转器，其特征在于：所述第1肋和所述第2肋的合计质量与所述镜部的质量相同。

4.根据权利要求3所述的光偏转器，其特征在于：

所述支承体、所述第1扭杆、所述第2扭杆、所述第1肋和所述第2肋，通过对具备第1硅层、第2硅层及被夹于所述第1硅层和所述第2硅层间的氧化硅膜的基板进行加工而形成，

所述支承体、所述第1扭杆及所述第2扭杆由所述第1硅层和所述氧化硅膜构成，

所述第1肋及所述第2肋由所述第2硅层构成。

5.根据权利要求4所述的光偏转器，其特征在于还包括：

镜驱动部，利用压电元件生成使由所述支承体支承的所述镜部绕所述扭杆的所述轴线摇动的驱动力。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的光偏转器，其特征在于：所述质量体由使可粘着的流体固化的构件组成。

7.一种光扫描装置，其特征在于包括：

根据权利要求1至6中任一项所述的光偏转器；以及

向所述镜部照射光束的光源。