[发明专利]陶瓷坩埚

权利要求书

1.一种陶瓷坩埚，用于容纳熔融物，熔融物形成熔池，陶瓷坩埚包括坩埚内壁、坩埚外壁、用于连接坩埚内壁和坩埚外壁的坩埚顶壁以及设置在坩埚外壁上的感应线圈，其中坩埚顶壁用于形成坩埚开口，感应线圈用于产生大致沿竖直方向穿过坩埚内部熔池的磁场，用于对熔融物加热，其中热阻层设置在坩埚底部附近，大致均匀厚度的壳层包裹熔融物。

2.根据权利要求1所述的陶瓷坩埚，其特征在于，多条独立冷却水流道设置在坩埚内壁与坩埚外壁之间，相邻的冷却水流道之间通过间隔片间隔开，多个进水管和出水管设置在坩埚外壁上，每个进水管经过相应的冷却水流道与相应的出水管连通，套管设置在坩埚底部区域，套管包括进水管和出水管，进水管嵌套在出水管内。

3.根据权利要求1所述的陶瓷坩埚，其特征在于，壳层覆盖在热阻层上、覆盖在除被热阻层覆盖的坩埚内壁的其余内壁部分上以及用于封闭坩埚开口。

4.根据权利要求1所述的陶瓷坩埚，其特征在于，陶瓷坩埚包括顶部区域和主体区域，顶部区域的截面呈柱状，主体区域的截面呈半圆形，主体区域底部与套管连通，主体区域包括相邻设置的第一极角区域和第二极角区域，第一极角区域由与通过陶瓷坩埚中心的竖直方向的两侧分别成第一极角的第一位置半径和第二位置半径限定，第二极角区域由与通过坩埚中心的水平方向分别成第二极角的第一位置半径和第二位置半径限定，其中在通过坩埚中心的竖直方向的一侧第一极角与第二极角的和等于90度，第二极角区域的热流密度大于第一极角区域的热流密度。

5.根据权利要求1所述的陶瓷坩埚，其特征在于，坩埚内壁、坩埚外壁以及坩埚顶壁由具有第一导热系数的陶瓷材料制备，热阻层由具有第二导热系数的陶瓷材料制备，第一导热系数大于第二导热系数。

6.根据权利要求4所述的陶瓷坩埚，其特征在于，热阻层设置在第一极角区域中，热阻层的厚度从陶瓷坩埚底部区域朝第二极角区域呈阶梯状变化。

7.根据权利要求4所述的陶瓷坩埚，其特征在于，热阻层设置在第一极角区域中，热阻层的厚度从陶瓷坩埚底部区域朝第二极角区域逐渐减小。

8.根据权利要求1所述的陶瓷坩埚，其特征在于，壳层厚度在10mm-15mm之间。

9.根据权利要求4所述的陶瓷坩埚，其特征在于，第一极角为大约40度，第二极角为大约50度。

10.根据权利要求5所述的陶瓷坩埚，其特征在于，具有第一导热系数的陶瓷材料为氮化硅，具有第二导热系数的陶瓷材料为氧化锆。