[发明专利]单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置

说明书

技术领域

本发明用于半导体装备制造行业，应用在通用型单层电容器裸芯粒分选测试机上。用于对通用型单层电容器裸芯粒进行吸取，并传输至测试点进行测试。本发明不仅适通用型单层电容器裸芯粒分选测试机上微调吸片。还可以用于二极管、电阻、电容等裸芯粒芯片吸取，尤其适用于薄脆和易损伤的裸芯粒芯片的拾取和传送。

背景技术

通用型单层电容器，在军事领域和高端民用领域均得到广泛应用，如雷达、导弹遥控、卫星通讯、定位、电视卫星接收器、无线局域等系统，其裸芯粒芯片产品尺寸从0.254mm×0.254mm×0.127mm至2.29mm×2.29mm×0.254mm，该电容器裸芯粒芯片具有体积小、薄、脆、镀金涂层易划伤等特点，而吸片装置是分选测试机的设备的重要部件，吸片过程不仅影响通用型单层电容器裸芯粒芯片的测试结果，还影响芯片的产品质量，引起划伤、损伤和崩角等质量问题。目前，厂家通常采用人工拾取的方式，通过镊子拾取，在拾取过程中由于工人的熟练程度以及使用的夹持力不同，对芯片会照成不同程度的损伤，拾放的力度不同都会造成芯片的破损，拾放在测试点时，相对测试头的位置偏差也会影响到测试数据的准确性。

发明内容

鉴于上述现状，本发明提供了一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，替代了现有手动拾取，解决了人工操作所带来的影响产品质量的一系列问题，大大降低了人工劳动强度，增加了产品的质量的一致性和可靠性，降低工人劳动强度和人力。

本发明的技术解决方案是：一种单层电容器裸芯粒分选测试机用微调吸片装置，包括吸头安装座滑动套，其上两侧对称设有导向缓冲机构与导向安装架连接，在所述导向安装架中部的螺孔上连接微调机构，该微调机构与安装在吸头安装座滑动套内的吸取装置连接成一体，所述的吸取装置分别与吸头安装座滑动套之间设有限位机构和真空气源接口。

本发明中，所涉及的导向缓冲机构，包括固定设置在吸头安装座滑动套上的活动轴，及其上安装的弹簧，使活动轴一端插入导向安装架的导向套内。当导向安装架受到外力冲击后，通过弹簧缓解了对吸头安装座滑动套的冲击力。

本发明中，所涉及的吸取装置，包括带有腔体的吸取安装套，该吸取安装套一端装有密封的吸头，及吸取安装套的径向开有吸口与吸头安装座滑动套上的真空气源接口连通。

本发明中，所涉及的限位机构，包括吸取安装套，及径向设有导向限位销，该导向限位销的引出端位于吸头安装座滑动套上开有的限位孔内。这样，通过导向限位销限制吸取安装套的起到至终点的位移距离。

本发明中，所涉及微调机构，包括微调主轴，该微调主轴的两端分别带有内、外螺纹，其中外螺纹与导向安装架连接，其内螺纹与吸取安装套上的外螺纹连接。因此，通过液压或气压作用于导向安装架与吸取安装套同步位移。

进一步地，所涉及微调机构，包括微调主轴，该微调主轴一端带有外螺纹，该端外螺纹与导向安装架连接，另一端分别依次安装有轴承、旋转架、保持架和转套，通过转套上的外螺纹与吸取安装套上的内螺纹连接。

进一步地，所述的微调主轴是一个实心轴，或是空心轴，通过空心轴的微调主轴与气源连接。这样，可通过气压方式控制微调主轴带动导向安装架及吸取安装套同步位移。

本发明减少吸片装置在高速吸取过程中由于惯量过大，造成吸嘴吸取裸芯粒芯片过程中出现过冲和抖动对造成裸芯颗粒吸取过程中划伤、损伤和崩角等质量问题，以及在吸取过程中吸偏芯片，影响分选测试结果。

附图说明

图1是本发明的示意图；

图2是图1剖视图；

图3是图2微调机构局部剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进行进一步详细描述。