[发明专利]用于彩色光阻和有机绝缘膜的剥离组合物

权利要求书

1.一种用于彩色光阻和有机绝缘膜的剥离组合物，基于所述剥离组合物的总重量，所述剥离组合物包括：1wt％～10wt％的季铵化合物；40wt％～80wt％的极性溶剂；1wt％～20wt％的烷基胺；1wt％～10wt％的由下面的式1或式2所示的胺化合物；0.001wt％～1wt％的无机碱或它的盐；及，1wt％～40wt％的水：

[式1]

其中，R₁是C₁～C₆的链状烷氧基或环状烷氧基，并且所述烷氧基可经C₁～C₆的链状烷基或环状烷基取代或者所述烷氧基可经C₁～C₃的烷氧基取代，R₂和R₃各自独立地是氢或C₁～C₆的链状烷基或环状烷基，并且n是1～4的整数，

[式2]

其中，A是O、S或N，并且R₁是：氢，未经取代的C₁～C₂₀的烷基或经氨基、氰基、羟基或乙烯基取代的C₁～C₂₀的烷基，C₂～C₁₀的烯基，羧基，氨基，未经取代的C₁～C₁₀的烷氧基或经羟基、乙酰基、甲酰基、苯基或苄基取代的C₁～C₁₀的烷氧基；当A是O或S时，R₂不存在；并且，当A是N时，R₂是：氢，C₁～C₁₀的烷基，C₁～C₁₀的羟烷基，未经取代的C₁～C₁₀的烷氧基或经羟基、苯基或苄基取代的C₁～C₁₀的烷氧基，

其中，上面的式2所示的胺化合物是选自由以下物质组成的组中的至少一种：N-甲基哌嗪、N-乙基哌嗪、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基甲基哌嗪、N-乙烯基乙基哌嗪、N-乙烯基-N’-甲基哌嗪、N-丙烯酰基哌嗪、N-丙烯酰基-N’-甲基哌嗪、羟乙基哌嗪、N-(2-氨基乙基)哌嗪、N,N’-二甲基哌嗪、N-甲基吗啉、N-乙基吗啉、N-苯基吗啉、N-乙烯基吗啉、N-乙烯基甲基吗啉、N-乙烯基乙基吗啉、N-丙烯酰基吗啉、N-可可吗啉、N-(2-氨基乙基)吗啉、N-(2-氰乙基)吗啉、N-(2-羟乙基)吗啉、N-(2-羟丙基)吗啉、N-乙酰基吗啉和N-甲酰基吗啉。

2.根据权利要求1所述的剥离组合物，其中，所述季铵化合物是选自由以下物质组成的组中的至少一种：四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵和四丁基氢氧化铵。

3.根据权利要求1所述的剥离组合物，其中，所述极性溶剂是选自由以下物质组成的组中的至少一种：二甲基亚砜、二乙基亚砜、二丙基亚砜、环丁砜、n-甲基吡咯烷酮、吡咯烷酮和n-乙基吡咯烷酮。

4.根据权利要求1所述的剥离组合物，其中，所述烷基胺是选自由以下物质组成的组中的至少一种：伯胺，包含甲胺、乙胺、异丙胺和单异丙胺；仲胺，包含二乙胺、二异丙胺和二丁胺；叔胺，包含三甲胺、三乙胺、三异丙胺和三丁胺；二胺，包含乙二胺、丙二胺、1,3-丙二胺和1,2-丙二胺；及，多胺，包含二乙烯三胺、二己烯三胺、三乙烯四胺和四乙烯五胺。

5.根据权利要求1所述的剥离组合物，其中，上面的式1所示的胺化合物是选自由以下物质组成的组中的至少一种：甲氧基乙胺、甲氧基丙胺、乙氧基丙胺、丙氧基乙胺、异丙氧基丙胺、甲氧基乙氧基丙胺、四氢呋喃-2-基-甲烷胺、(四氢呋喃-2-基-甲基)丁烷-1-胺和甲基四氢呋喃-2-基-甲烷胺。

6.根据权利要求1所述的剥离组合物，其中，所述无机碱或它的盐是选自由以下物质组成的组中的至少一种：氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠、硅酸钾、醋酸钠和醋酸钾。