[发明专利]微机电装置的位置侦测装置及其侦测方法

权利要求书

1.一种位置侦测装置，用以侦测微机电装置的位置信息，其特征在于，包括：

振荡电路，耦接该微机电装置，依据该微机电装置所提供的等效电容来产生振荡信号；

载波频率侦测器，耦接该振荡电路，侦测该振荡信号以获得该振荡信号的载波频率信息；以及

解调变器，耦接该振荡电路以及该载波频率侦测器，依据该载波频率信息以对该振荡信号进行解调变，并据以获得该微机电装置的位置信息。

2.如权利要求1所述的位置侦测装置，其中该等效电容依据该微机电装置的位置信息的改变而产生变化。

3.如权利要求1所述的位置侦测装置，其中该振荡电路为电感电容振荡器，该振荡电路包括电感，并依据该电感的电感值以及该等效电容来决定该振荡信号的振荡频率。

4.如权利要求3所述的位置侦测装置，其中该振荡电路还包括：

第一电容，其一端耦接该等效电容的第一端，该第一电容的第二端耦接至该电感的第一端；

第一反相器，其输入端耦接至该第一电容的第二端；

第二反相器，其输入端耦接至该第一反相器的输出端，该第二反相器的输出端产生该振荡信号；

第二电容，其第一端耦接至该电感的第二端，该第二电容的第二端耦接至参考接地端；

第一电阻，串接在该第二电容的第一端与该第一反相器的输出端间；

以及

第二电阻，串接在该第一反相器的输出端及输入端间，

其中，该等效电容的第二端耦接至该参考接地端。

5.如权利要求1所述的位置侦测装置，其中该解调变器包括：

振荡器，接收并依据该载波频率信息产生正交的第一参考振荡信号以及第二参考振荡信号；

第一混波器，接收该振荡信号以及该第一参考振荡信号，并针对该振荡信号以及该第一参考振荡信号进行混波以产生第一混波信号；

第二混波器，接收该振荡信号以及该第二参考振荡信号，并针对该振荡信号以及该第二参考振荡信号进行混波以产生第二混波信号；

微分器，接收并针对该第一混波信号以及该第二混波信号进行微分，以分别产生第一微分后混波信号以及第二微分后混波信号；以及

算术运算器，接收并针对该第一微分后混波信号以及该第二微分后混波信号进行算术运算以获得该微机电装置的位置信息。

6.如权利要求5所述的位置侦测装置，其中该解调变器还包括：

第一滤波器，耦接在该第一混波器及该第二混波器接收该振荡信号的路径上，以针对该振荡信号进行滤波；

第二滤波器，耦接在该微分器接收该第一混波信号的路径上，以针对该第一混波信号进行滤波；以及

第三滤波器，耦接在该微分器接收该第二混波信号的路径上，以针对该第二混波信号进行滤波。

7.如权利要求1所述的位置侦测装置，其中该载波频率侦测器依据计算该振荡信号的多个周期的周期平均值来获得该载波频率信息。

8.如权利要求7所述的位置侦测装置，其中该载波频率侦测器利用一取样频率信号以针对该振荡信号的这些周期进行取样，并据以获得多个取样结果，该载波频率侦测器并计算这些取样结果的平均值来获得该载波频率信息。

9.如权利要求1所述的位置侦测装置，其中还包括：

模拟低通滤波器，耦接该振荡电路以接收该振荡信号，并针对该振荡信号进行模拟式的滤波动作以产生滤波后的模拟振荡信号；以及

模拟数字转换器，耦接该模拟低通滤波器以接收该滤波后的模拟振荡信号并转换该滤波后的模拟振荡信号为数字格式，

其中，该滤波后的模拟振荡信号用以提供至该解调变器以进行解调变动作，并据以获得该微机电装置的位置信息。