[发明专利]等离子体处理腔室及其直流电极和加热装置的复合组件

权利要求书

1.一种用于等离子体处理腔室下电极的直流电极和加热装置的复合组件，其中，所述等离子体处理腔室下部包括一基台，基台下方设置有若干冷却液通道，在所述冷却液通道上方设置有一隔热层，其特征在于，在所述隔热层上方设置有绝缘层，在所述绝缘层上方设置有电热合金制成的复合组件，同时充当直流电极和加热装置。

2.根据权利要求1所述的复合组件，其特征在于，所述电热合金包括钨、铁、铬、镍。

3.根据权利要求2所述的复合组件，其特征在于，所述复合组件上包括第一接入点和第二接入点，在第一接入点设置有直流电极，在该直流电源和该第一接入点之间的通路以及第二介入点之间设置有变压器。

4.根据权利要求3所述的复合组件，其特征在于，所述变压器并联有一个交流电源。

5.根据权利要求4所述的复合组件，其特征在于，所述变压器还串联有一第一开关，用于控制该变压器的开关。

6.根据权利要求3所述的复合组件，其特征在于，所述直流电极还串联有一第二开关，用于控制该直流电源的开关。

7.根据权利要求1所述的复合组件，其特征在于，所述绝缘层为陶瓷。

8.一种等离子体处理腔室，其特征在于，所述等离子体处理腔室包括权利要求1至7任一项所述的复合组件。

9.根据权利要求8所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述等离子体处理腔室还包括一冷却液循环装置，所述冷却液循环装置连接至冷却液通道，用于循环提供冷却液至冷却液通道。

10.根据权利要求9所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述冷却液通道和所述冷却液循环装置之间还设置有一冷却液供给通道和冷却液回收通道，分别用于供给冷却液至冷却液通道以及回收冷却液至冷却液循环装置。