[发明专利]基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置

权利要求书

1.一种基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，所述装置包括入射单元、光信号接收单元、样品以及数据分析单元(7)；入射单元含有激光器(1)和聚焦透镜(2)；所述光信号接收单元含有一个采集透镜(3)、光纤(4)和光谱仪(5)；其特征在于：光信号接收单元还包括一个中心开孔的凹面镜(8)，该凹面镜放置在样品(6)的表面上，凹面镜的反射面朝向采集透镜，激光经过聚焦透镜聚焦(2)后，穿过凹面镜的中心孔击打在样品表面产生等离子体，该采集透镜(3)设置在等离子体的正上方；等离子体(9)位于凹面镜的焦点处；凹面镜将等离子体(9)发出的发散的辐射光信号转化为平行光进行收集后输入光谱仪，并将光谱仪得到的光谱信号导入数据分析单元进行光谱分析。

2.如权利要求1所述的一种基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，其特征在于：所述的凹面镜的反射面为抛物线型，凹面镜中心孔的直径为10mm-20mm的圆孔。

3.一种基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，所述装置包括入射单元、光信号接收单元、样品以及数据分析单元(7)；入射单元含有激光器(1)和聚焦透镜(2)；所述光信号接收单元含有采集透镜、光纤(4)和光谱仪(5)；其特征在于：所述的采集透镜至少采用2个，激光经过聚焦透镜聚焦(2)后以垂直的方向击打在样品表面产生等离子体，所述至少两个采集透镜设置在等离子体上方，并布置在以等离子体为圆心的半球形面上；多个采集透镜将等离子体(9)发出的发散的辐射光信号进行采集，并输入各自相对应的光谱仪，每个光谱仪具有相同的波长范围，最后将每个光谱仪得到的光谱信号导入数据分析单元进行叠加，再对叠加后的光谱信号进行光谱分析。

4.一种基于激光诱导击穿光谱技术的等离子体信号采集装置，其特征在于：所述至少两个采集透镜均匀布置在以等离子体为圆心，半径为50mm-100mm的半球形面上。