[发明专利]一种带有自动检测装置的飞秒激光器

权利要求书

1.一种带有自动检测装置的飞秒激光器，包括激光器壳体、光学谐振腔，所述光学谐振腔固定于所述激光器壳体的一端，其特征在于：所述激光器壳体的内部还固定有光源、折光块、光轴漂移校正器、光阑、分束镜、激光放大器、聚焦透镜A、倍频晶体、激光输出耦合镜、聚焦透镜B、反射镜A、扩束器、薄透镜、反射镜B、转向棱镜、聚焦透镜C、聚焦透镜D、激光接收器、发射计时器、接收计时器，所述激光器壳体的外部设置有工件运输导轨，所述工件运输导轨上设置有工件固定夹、工件加工位、工件检测位，所述光源位于所述激光器壳体的一侧并且光源与光学谐振腔平行设置，所述折光块固定于所述光源、光学谐振腔的同一侧，所述光学谐振腔的两侧分别固定有全反镜、半反镜，所述光轴漂移校正器内的中轴线上依次固定有180度反射棱镜A、光强变换器、光轴漂移校正透镜、180度反射棱镜B，所述光轴漂移校正器包括光轴漂移校正器A、光轴漂移校正器B，所述光阑、分束镜、激光放大器、聚焦透镜A、倍频晶体、激光输出耦合镜、聚焦透镜B、反射镜A、光轴漂移校正器A、扩束器依次固定于所述光学谐振腔的半反镜侧，所述扩束器与所述工件加工位相对应，所述薄透镜、反射镜B、转向棱镜、光轴漂移校正器B、聚焦透镜C、聚焦透镜D、激光接收器依次固定于所述分束镜的一侧，所述聚焦透镜C、聚焦透镜D以工件检测位的中轴线为对称轴设置，所述发射计时器与光源相连，所述接收计时器与所述激光接收器相连。

2.根据权利要求1所述的一种带有自动检测装置的飞秒激光器，其特征在于：所述光阑、分束镜、激光放大器、聚焦透镜A、倍频晶体、激光输出耦合镜、聚焦透镜B的中心、反射镜A的镜面中心均在同一轴线上，所述聚焦透镜B、光轴漂移校正器A以反射镜A的垂线为对称轴对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种带有自动检测装置的飞秒激光器，其特征在于：所述分束镜的中心、薄透镜的中心、反射镜B的镜面中心均在同一中轴线上，所述聚焦透镜D、激光接收器的中心均在同一轴线上。

4.根据权利要求1所述的一种带有自动检测装置的飞秒激光器，其特征在于：所述反射镜A、反射镜B为正八面镜。