[发明专利]一种干法刻蚀设备

权利要求书

1.一种干法刻蚀设备，包括：相对设置的上部电极和下部电极，所述上部电极包括多个间隔分布的喷淋头，其特征在于，所述下部电极包括多个大小不同的子下部电极，所述多个子下部电极同心设置且由小到大依次套嵌；所述干法刻蚀设备还包括：分别驱动一个子下部电极移动以调整其驱动的子下部电极与所述上部电极之间间距的第一驱动装置，所述第一驱动装置与其驱动的子下部电极传动连接。

2.根据权利要求1所述的干法刻蚀设备，其特征在于，所述上部电极包括与多个子下部电极一一对应的子上部电极，且每一个子上部电极包括至少一个喷淋头，每一个子上部电极均设有一个控制其上设有的喷淋头开和关的开关阀。

3.根据权利要求2所述的干法刻蚀设备，其特征在于，所述上部电极包括三个子上部电极，所述下部电极包括三个子下部电极，且所述三个子上部电极为同心矩形套嵌结构，所述三个子下部电极为同心矩形套嵌结构。

4.根据权利要求3所述的干法刻蚀设备，其特征在于，还包括：

为所述下部电极施加射频的射频发生器，以及

与所述射频发生器连接的射频匹配器，所述多个子下部电极分别通过电缆线与所述射频匹配器连接。

5.根据权利要求4所述的干法刻蚀设备，其特征在于，每一个所述第一驱动装置为气缸，所述气缸的活塞杆的伸出端与一子下部电极连接，气缸的缸体相对所述射频发生器固定。

6.根据权利要求1～5任一项所述的干法刻蚀设备，其特征在于，还包括：位于所述上部电极下方、且可与所述上部电极和所述下部电极围成大小可调的反应腔的多个可移动的绝缘挡墙，多个所述绝缘挡墙形成所述反应腔的四周腔壁，且多个绝缘挡墙与下部电极之间设有排气间隙。

7.根据权利要求6所述的干法刻蚀设备，其特征在于，还包括：分别驱动一个所述绝缘挡墙移动的第二驱动装置，所述第二驱动装置与其驱动的绝缘挡墙传动连接。

8.根据权利要求7所述的干法刻蚀设备，其特征在于，每一个绝缘挡墙包括至少两个绝缘挡板，且至少两个绝缘挡板的大小不同。

9.根据权利要求8所述的干法刻蚀设备，其特征在于，每一个所述第二驱动装置为螺旋气缸，螺旋气缸的缸体相对所述射频发生器固定，每一个绝缘挡墙包括两个绝缘挡板，螺旋气缸的活塞杆的伸出端连接两个绝缘挡板，且沿着活塞杆的伸出端延伸方向、绝缘挡板沿垂直于下部电极的支撑面方向上的长度逐渐减小。

10.根据权利要求9所述的干法刻蚀设备，其特征在于，每一个螺旋气缸的活塞杆沿其伸缩方向设有两个齿轮，每一个所述绝缘挡板沿其长度方向设有凹槽，所述凹槽的槽壁上设有与一齿轮传动配合的齿条。