[发明专利]晶盒仓储柜搁架的配置方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及半导体晶盒仓储柜搁架的配置方法。

背景技术

由于集成电路的发展速度快，晶圆厂建设成本高，同时半导体制造设备价格昂贵，所以晶圆厂对半导体设备的有效利用率的要求也不断提高，其中，半导体设备包括立式氧化炉、低温退火炉、高温退火炉等批处理设备，而半导体晶圆被放在FOUP(晶圆传送盒，简称晶盒)中，每个FOUP能够携带25个300毫米直径的晶圆。

现有仓储柜搁架一般设有16个晶盒位，每个晶盒位配置一晶盒，晶盒及晶盒位通常包括4种类型，分别为Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。通常仓储柜搁架的16个晶盒位对应配置的晶盒位的类型为：8个Product+1个Dummy+5个Extra Dummy+2个Monitor，即4种类型晶盒位，共16个晶盒位。

如图1所示，图1为现有晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。现有技术中，将晶盒配置在仓储柜搁架上的步骤为：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；其中，晶盒包括4种类型，即Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor中的任意一种；步骤S2，所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3，所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位空置，则机械手将该晶盒配置在该仓储柜搁架上的同类型的晶盒位上，如同类型的晶盒位存满，该仓储柜将不能再存放该类型的晶盒。

但现有晶盒仓储柜搁架的配置方法存在一定缺陷，例如：当晶盒其中一种类型在该仓储柜搁架上相应类型的晶盒位已经存储满时，则该仓储柜将不能再存放该类型的晶盒，即便该仓储柜搁架上其他类型的晶盒位处于空置状态，因此，仓储柜搁架的利用率未能得到充分利用，提供一种晶盒仓储柜搁架的配置方法称为本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术是提供一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。

本发明提供的一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，包括以下步骤：

步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；

步骤S2、所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；

步骤S3、所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，机械手配置晶盒包括可选择类型模式和无选择类型模式，所述可选择类型模式为：预设仓储柜搁架上晶盒位的类型，根据晶盒位的类型将同类型的晶盒配置到仓储柜搁架上；所述无选择类型模式为：将仓储柜搁架上晶盒位的类型默认为无类型，将晶盒配置到仓储柜搁架上的晶盒位上，根据晶盒类型改变晶盒位的类型，使晶盒位的类型与晶盒保持一致；所述机械手选择其中一种模式将晶盒配置在所述仓储柜搁架上，直至将待置晶盒配置完毕。

优选的，所述机械手在配置晶盒的过程中可切换另一种模式继续配置晶盒。

优选的，所述可选择类型模式中，所述控制单元对同类型的晶盒位进行编号，所述编号由小到大排序。

优选的，所述机械手配置晶盒按晶盒位编号由小到大排序。

优选的，所述无选择类型模式中，对仓储柜搁架上的所有的晶盒位进行编号，所述编号由小到大排序。

优选的，所述机械手配置晶盒按晶盒位编号由小到大排序。

优选的，所述仓储柜搁架上设有16个晶盒位。

优选的，所述晶盒和晶盒位设有4种不同类型。其中，所述晶盒和晶盒位的4种类型包括Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。

与现有技术相比，本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法，通过同时设有可选择类型模式以及无选择类型模式，灵活选择配置晶盒的模式，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加充分。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图；

图2为本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。

具体实施方式