[发明专利]一种工艺管排气装置

权利要求书

1.一种工艺管排气装置，包括半导体立式热处理设备工艺管的排气口，连接排气口的排气管，所述排气管通过排气管路连接至尾气冷却装置，所述排气口与所述排气管的连接处设有密封圈，其特征在于，所述排气口与所述排气管采用法兰相对接，排气口侧法兰与排气管侧法兰的法兰连接面之间具有一定间隙，所述法兰连接面之间通过环绕法兰圆周设置的密封圈相密封；二侧法兰中的其中一侧法兰的连接面位于所述密封圈与法兰内壁之间处设有吹气口，所述吹气口连通该侧法兰本体内的吹气腔道，所述吹气腔道设有通向该侧法兰本体外的吹气进气口；所述二侧法兰通过夹紧调节机构相固连；其中，可由所述吹气进气口吹入不同的冷却吹扫气体，经由所述吹气腔道、所述吹气口进入所述二侧法兰连接面之间的所述间隙，并由所述间隙进入所述法兰内壁，沿所述排气管通过所述排气管路排向所述尾气冷却装置。

2.如权利要求1所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述二侧法兰位于所述密封圈与所述法兰内壁之间靠近所述法兰内壁的连接面处具有环绕法兰圆周设置的相配合的凹凸转折面结构，所形成的所述凹凸转折面之间具有一定间隙。

3.如权利要求1所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述二侧法兰中的其中一侧法兰的连接面位于所述密封圈与所述吹气口之间处环绕法兰圆周设有一圈凸起的隔档。

4.如权利要求3所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述隔档的顶端与其相对侧法兰的连接面之间具有一定间隙。

5.如权利要求1所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述吹气口在所述二侧法兰中的其中一侧法兰的连接面环绕法兰圆周均匀设置多个，所述吹气口连通该侧法兰本体内环绕法兰圆周设置的吹气腔道。

6.如权利要求3所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述隔档与所述吹气口设于同一侧所述法兰的连接面处。

7.如权利要求3所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述隔档与所述吹气口分别设于二侧所述法兰的连接面处。

8.如权利要求1所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述夹紧调节机构包括二个相对设置的夹板，所述二个夹板通过相配合的调节螺钉和螺母相固连，所述二个夹板将所述排气口侧法兰与所述排气管侧法兰夹持在其间，并通过所述二个夹板上设置的相配合的所述调节螺钉和螺母进行固定；所述二个夹板具有通过所述排气口与所述排气管的开口结构。

9.如权利要求8所述的工艺管排气装置，其特征在于，相配合的所述调节螺钉和螺母的数量为4个，分设于所述二个夹板的四个角部，所述调节螺钉上套有压缩弹簧；其中，通过所述螺母的旋转，使所述压缩弹簧具有不同的压紧力，来调整所述二个夹板所夹持的所述排气口侧法兰与所述排气管侧法兰连接面之间的间隙量。

10.如权利要求8或9所述的工艺管排气装置，其特征在于，所述二个夹板将所述排气口侧法兰与所述排气管侧法兰夹持在其间，二个所述夹板与其所夹持的相应侧法兰之间设有柔性垫片。