[发明专利]热驱动MEMS微镜及1×N热驱动MEMS微镜阵列

权利要求书

1.1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：包括N个热驱动微镜单元和设有空腔的衬底，其中N为一个大于1的整数；所述每个热驱动微镜单元由镜面、微镜镜框以及连接镜面和微镜镜框的电热驱动臂组成，其中所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧并固定于衬底空腔上，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使对应微镜镜面旋转；所述N个热驱动微镜单元之间以相等间隙地排列形成1×N微镜阵列。

2.根据权利要求1所述1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：还包括用于隔离热驱动微镜单元之间空气热传导的热阻挡墙。

3.根据权利要求2所述热1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述N个热驱动微镜单元的镜面呈并排排列，且所述热阻挡墙设置在每两个相邻的电热驱动臂之间。

4.根据权利要求2所述热1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述N个热驱动微镜单元的镜面呈并排排列，且每个镜面和微镜镜框均设有凸出部；所述每个镜面的凸出部使同一侧的两个电热驱动臂错位布置，且低于镜面凸出部的电热驱动臂利用镜面凸出部形成热阻挡墙，高于镜面凸出部的电热驱动臂利用微镜镜框凸出部形成热阻挡墙。

5.根据权利要求2所述热1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述每两个相邻微镜镜框的其中一个上设有凸出部和凹陷部，通过电热驱动臂将镜面连接在凸出部和凹陷部之间，使得N个热驱动微镜单元的镜面呈错位排列；所述热驱动微镜单元之间利用镜面或微镜镜框形成热阻挡墙。

6.根据权利要求1所述1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述每个热驱动微镜单元还包括隔热连接件，所述电热驱动臂的两端分别通过隔热连接件与微镜边框、镜面相连接。

7.根据权利要求6所述1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述隔热连接件由热导率小于20 W/m.K的非金属材料制成。

8.根据权利要求1所述1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述电热驱动臂为两层以上的薄膜结构，所述薄膜结构由热膨胀系数不同的两种以上薄膜材料组合而成。

9.根据权利要求1所述1×N热驱动MEMS微镜阵列，其特征在于：所述电热驱动臂为由薄膜梁连接而成的折叠梁结构。

10.基于权利要求1至9任一项所述1×N热驱动MEMS微镜阵列的热驱动MEMS微镜，由镜面、微镜镜框以及连接镜面和微镜镜框的电热驱动臂组成，其特征在于：所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使微镜镜面旋转。