[发明专利]部分相干多模高斯光束的产生系统、产生方法及测量装置

权利要求书

1.一种部分相干多模高斯光束的产生系统，其特征在于，所述产生系统依次包括：激光器、第一线偏振片、第一偏振分光镜、衰减片、第一平面镜、第二平面镜、扩束镜、第二偏振分光镜、第二线偏振片、聚焦透镜、圆形光阑、旋转毛玻璃片、准直凸透镜和高斯滤波片，所述衰减片和第一平面镜位于第一偏振分光镜的透射光路上，所述第二平面镜和扩束镜位于第一偏振分光镜的反射光路上，所述旋转毛玻璃片表面包括若干颗粒，颗粒大小遵从高斯统计分布。

2.根据权利要求1所述的产生系统，其特征在于，所述扩束镜的扩大系数为可连续性调节，且所述扩束镜不对光强分布进行改变。

3.一种如权利要求1所述的部分相干多模高斯光束的产生方法，其特征在于，所述方法包括：

S1、激光器发出准直高斯光束，经由第一线偏振片后产生线偏振的高斯光束；

S2、线偏振的高斯光束，通过第一偏振分光镜后，产生两束偏振方向相互垂直且传输方向也相互垂直的透射光束和反射光束，透射光束通过衰减片，再通过第一平面镜反射到第二偏振分光镜上，反射光束通过第二平面镜反射，再经过扩束镜对光斑进行扩大，到达第二偏振分光镜上，两束偏振互相垂直的高斯光束通过第二偏振分光镜合成得到合成光束；

S3、合成光束通过第二线偏振片，经聚焦透镜汇聚并经过圆形光阑截取理想光束，打在旋转毛玻璃片上；

S4、通过旋转毛玻璃片后产生的部分相干光经过准直凸透镜准直，经过准直后输出的光束通过高斯滤波片的整型滤波，即可得到部分相干多模高斯光束。

4.根据权利要求3所述的产生方法，其特征在于，所述步骤S3还包括：

通过改变会聚焦透镜与旋转毛玻璃片之间的距离，调节所产生光束的相干长度的大小。

5.根据权利要求3所述的产生方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：

通过对衰减片的调节，使反射光束和透射光束的光强度大小相等；

通过扩束镜对反射光束进行扩束，使反射光束和透射光束的光斑尺寸为2:1.]]>