[发明专利]一种2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管

说明书

技术领域

本发明涉及微波加热设备配套的真空器件技术领域，具体而言涉及一种2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管。

背景技术

现有技术中，在2450MHz频段，普通连续波磁控管为了提高输出功率，往往忽视了对频率稳定性的设计，因此磁控管工作时频率很不稳定。目前，对2450MHz频段连续波磁控管的频率控制主要依靠冷测装配焊接腔体组合后对大小隔型带尺寸的调整来控制，因现有技术对频率的设计要求不高，因此在实际生产中磁控管的频率离散型较大，在2450MHz±30MHz左右。

随着微波技术的不断发展，在很多新兴领域也得到了应用，如微波等离子体技术。在微波等离子体应用中，如果磁控管的频率不稳定，就会造成等离子体火炬火焰不集中，直接降低了物料的加热温度和生产效率；同时，随着注入锁频技术被引入连续波磁控管的制造，现有的磁控管频率控制远不能满足微波等离子体技术和注入锁频技术对磁控管频率的技术要求，即需要达到2450MHz±2.5MHz。为此，急需一种改进的高频率稳定度的连续波磁控管，以满足不同行业对连续波磁控管的特殊需求。

发明内容

本发明目的在于提供一种频率稳定度高、微波泄漏少、安全性能高的2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管。

为达成上述目的，本发明所采用的技术方案如下：

一种2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管，包括腔体组合、输出窗组合、引线组合和散热器，其中：

所述腔体组合由以下部分组成：圆柱形腔体；位于圆柱形腔体内的并呈瓣状分布的多个腔体翼片，腔体翼片的水路结构构成V型水路冷却结构；设置在圆柱形腔体外周的水冷套，水冷套内围绕所述圆柱形腔体设有带孔的隔水环；设置在圆柱形腔体内部两端、用于增加模式分割度的大、小隔型带，大隔型带位于小隔型带的外周并具有一间隙；插入所述水冷套内并用于冷却水注入和排出的水管；以及连接在腔体翼片上的输出天线；

所述输出窗组合与腔体组合的一端连接并形成密封结构，所述输出天线的另一端位于所述输出窗组合的内部并且不接触输出窗组合的内壁；

腔体组合的另外一端与所述引线组合焊接，所述引线组合上远离腔体组合的位置焊接有散热器。

进一步的实施例中，所述腔体翼片在沿所述瓣状分布方向的内部形成有狭孔，所述腔体翼片之间的狭孔与所述水冷套构成水冷却通道，且相邻腔体翼片之间的狭孔构成所述V型水路冷却结构。

进一步的实施例中，所述水管包括进水管和出水管，进水管插入所述水冷套内并延伸穿过所述隔水环，所述出水管插入所述水冷套并向内延伸至不超过所述隔水环的位置。

进一步的实施例中，所述大隔型带与小隔型带之间的距离值在0.7mm～0.8mm。

进一步的实施例中，所述输出天线的直径值在4.5mm～5.5mm，所述输出天线在伸出所述腔体的高度值在39mm～41mm。

进一步的实施例中，所述输出天线与大隔型带的间距值为0mm～0.4mm。

进一步的实施例中，所述输出窗组合包括盖和输出窗，输出窗为陶瓷材料制作成一U形状结构，该U形结构的开口与盖连接，所述盖与一下级靴连接形成密封结构，所述输出天线的一端与腔体翼片连接，其另一端伸入该U形结构的开口内部。

进一步的实施例中，所述引线组合包括引线杆、屏蔽帽、灯丝、上级靴、扼流筒、支持筒、定位瓷、瓷筒、上盖以及排气管，其中：所述屏蔽帽、灯丝、上级靴、扼流筒、支持筒、定位瓷、瓷筒、上盖围绕所述引线杆设置并以该引线杆为中心线，所述灯丝位于两个屏蔽帽之间，所述一个屏蔽帽卡在所述上级靴上，上级靴的另一侧依次固定安装扼流筒、支持筒以及位于其内部的定位瓷，所述瓷筒与支持筒连接，所述上盖位于瓷筒的另一端，所述排气管伸出所述上盖。

由以上本发明的技术方案可知，本发明所提出的2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管，与现有技术相比，其有益效果在于：

1、采用V型水冷结构，与散热器结合，提高散热效果，优化阳极结构设计；

2、采用陶瓷输出窗结构，具有耐温度冲击，密封性能好等优点；

3、采用轴向天线输出结构，提高微波能的输出效率；

4、采用优化设计的引线结构，频率稳定度高，微波泄漏少，工作稳定性好；

5、采用优化的隔型带间距设计、输出结构设计，确保整个磁控管的低Qe值、高频率稳定度和较好的工作稳定性。

附图说明

图1为本发明一实施方式2450MHz频段低外观品质因数的连续波磁控管的结构示意图。