[发明专利]聚合缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.聚合缓蚀剂，其特征在于：具有如下通式

其中，聚合取代基位置是邻、间或对位，X是Br^-或Cl^-，n是侧链烷基中碳原子数目，k是聚合物中的单体的数目。

2.根据权利要求1所述的聚合缓蚀剂，其特征在于：其中X是Br^-。

3.根据权利要求1所述的聚合缓蚀剂，其特征在于：其中侧链烷基中碳原子数目n的是6、8、10、12、14或16。

4.根据权利要求1所述的聚合缓蚀剂，其特征在于：其中k是聚合物中的单体的数目，k为大于1的整数。

5.根据权利要求1至4任一项所述的聚合缓蚀剂的制备方法，

其特征在于包括以下步骤：

(1)催化剂的制备

向反应器中加入双三苯基磷二氯化钯0.3-0.5mmol和碘化亚铜0.1-0.2mmol，抽真空后充入氮气保护，注射新蒸馏的二乙胺5-15ml作溶剂，然后再慢慢注射丙炔醇1-3mmol，室温下搅拌10-30分钟，再用5ml二乙胺稀释，抽滤，分别用二乙胺和乙醇洗涤，真空干燥；

(2)聚合反应

向反应器中加入溴化-N-烷基吡啶丙炔醇0.02mmol和步骤(1)制备的催化剂0.01-0.1mmol，抽真空后充入氮气保护，注射三氯甲烷/甲醇1:3-4:1混合溶剂，50-80℃下缓慢搅拌回流48小时，将反应液逐滴滴加到丙酮或乙酸乙酯中，沉淀析出絮状固体，抽滤干燥得到聚合缓蚀剂；

上述步骤中各物质用量可按相同倍数变化。

6.根据权利要求1至4任一项所述的聚合缓蚀剂的制备方法，

其特征在于包括以下步骤：

(1)金属材料准备

将表面积10±1cm²的金属材料表面用砂纸打磨光滑后用蒸馏水冲洗干净，然后用丙酮和无水乙醇除油脱脂，置于真空干燥箱中保存备用；

(2)催化剂制备

向反应器中加入双三苯基磷二氯化钯0.3-0.5mmol和碘化亚铜0.1-0.2mmol，抽真空后充入氮气保护，注射新蒸馏的二乙胺5-15ml作溶剂，然后再慢慢注射丙炔醇1-3mmol，室温下搅拌10-30分钟，再用5ml二乙胺稀释，抽滤，分别用二乙胺和乙醇洗涤，真空干燥；

(3)原位聚合反应

向反应器中加入溴化-N-烷基吡啶丙炔醇0.02mmol和步骤(2)制备的催化剂0.01-0.1mmol，放入步骤(1)制备的金属材料，抽真空后充入氮气保护，注射三氯甲烷/甲醇1:3-4:1混合溶剂，50-80℃下缓慢搅拌回流48小时，反应结束后将金属材料取出悬挂，真空干燥至恒重；将反应液逐滴滴加到丙酮或乙酸乙酯中，沉淀析出絮状固体，抽滤干燥进一步得到聚合缓蚀剂；

上述步骤中各物质用量可按相同倍数变化。