[发明专利]一种水溶性复合缓蚀剂有效
| 申请号： | 201410191768.1 | 申请日： | 2014-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN103937528A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王春柱;葛圣才;戴泽青 | 申请（专利权）人： | 金浦新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10G7/10 | 分类号： | C10G7/10;C23F11/04 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 黄明哲;王鹏翔 |
| 地址： | 210047 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 水溶性 复合 缓蚀剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种水溶性复合缓蚀剂，其特征在于，包括20～40wt%吡啶类衍生物、5～20wt%甲基苯骈三氮唑、15～40wt%有机胺和20～40wt%溶剂。
2.如权利要求1所述的水溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述水溶性复合缓蚀剂含有20～30wt%吡啶类衍生物、10～20wt%甲基苯骈三氮唑、20～30wt%有机胺和30～40wt%溶剂。
3.如权利要求1所述的水溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述吡啶类衍生物选自3,5-二甲基吡啶季胺盐、2,5-二甲基吡啶季胺盐、2,3,5-三甲基吡啶季胺盐中的一种或两种以上以任意比例组成的混合物。
4.如权利要求1所述的水溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述有机胺选自吗啉、一乙醇胺、环己胺中的一种或两种以上以任意比例组成的混合物。
5.如权利要求1至4任一项所述的水溶性复合缓蚀剂，其特征在于，所述溶剂选自去离子水、丙二醇、丙三醇中的一种或两种以上以任意比例组成的混合物。
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