[发明专利]压电驻极体薄膜及其制作方法

权利要求书

1.一种压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

将氟化乙烯丙烯共聚物薄膜与聚四氟乙烯薄膜交替层叠在一起并置于一基底上，交叠之后最外的两层为聚四氟乙烯薄膜，其中，所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜的厚度为7～15μm，所述聚四氟乙烯薄膜的厚度为2～7μm；

将一网格状压板置于与所述基底相对的最外侧的聚四氟乙烯薄膜上，并在所述压板上施加压力，加热所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜与所述聚四氟乙烯薄膜至250～300℃并保持12～18分钟，冷却后拆除所述压板及所述基底，得到中部开设微孔的所述压电驻极体薄膜。

2.如权利要求1所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，所述氟化乙烯丙烯共聚物薄膜的数量为多个。

3.如权利要求1所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，在所述压板上施加的压力5～22KPa。

4.如权利要求1所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，所述压板上网孔的目数为10～100目；网孔的孔形状为正方形、正六边形或者圆形；网孔的气孔率为50～80％；网格线宽为0.1～0.5mm。

5.如权利要求1或4所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，所述压板的孔为孔径大小在0.125mm～1.25mm×0.125mm～1.25mm之间的方形孔，或者为边长为0.06mm～0.55mm的正六边形孔。

6.如权利要求1所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，还包括对制作得到的薄膜进行电极化处理的步骤。

7.如权利要求6所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，所述电极化处理的具体步骤包括：将所述压电驻极体薄膜置于平板电极上，调节针电极与所述平板电极之间的距离为3～12cm，以12～32KV的直流电压进行恒压电晕充电30～120s。

8.如权利要求6或7所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，还包括在电极化处理之后在所述压电驻极体薄膜的两侧蒸镀厚度为80～120nm的金属电极层的步骤。

9.如权利要求8所述的压电驻极体薄膜的制作方法，其特征在于，所述金属电极层为铝电极层、镍电极层或铜电极层。

10.一种由如权利要求1～9中任一项所述的压电驻极体薄膜的制作方法制作的压电驻极体薄膜。