[发明专利]一种样品安放辅助支架

说明书

技术领域

本发明专利涉及扫描电子显微镜(SEM)使用过程中的辅助工具，具体的说，是一种样品安放辅助支架。

背景技术

目前国内外使用的扫描电子显微镜(SEM)，其样品室内部结构复杂精密。一般样品室中能够容纳较大的样品，并在样品台上进行三维操作。而且在设计空间上考虑了多种信号收集器安装所需要的几何尺寸。所以设备供应商提供了各种不同形式的样品台。但是考虑到其信号收集的要求，其样品台一般都是高导电性的金属制成，而样品本身需要固定和导电两方面的要求。比较常见的是，采用镀金的方法提高导电性，采用导电双面胶来加以固定。相对来说，样品的固定是一个非常繁琐的工作。

为了解决样品在样品台上的固定问题，样品台的改进工作成了一个热点。第一种是样品台外观形式的改进，如：南通大学(ZL200720131193.X)设计了一种扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括与电子显微镜匹配的支座，支座上设置带有多个槽的基座，基座上的各槽中分别插装一个样品座。国家纳米科学中心(ZL201020676443.X)提供了一种扫描电子显微镜样品台，该扫描电子显微镜样品台具有本体，所述本体具有相互平行的顶面、底面、和连接在所述顶面和底面之间的多个侧面，所述侧面至少具有一个平面，其特征在于，所述本体上具有缺口。上海华碧检测技术有限公司设计了一种扫描电子显微镜扫描用夹具(ZL201120320091.9)，该夹具包括碗形托底、固定安装于所述托底上部的圆环形托盘，通过双面胶粘贴于所述托盘上部的托板，所述托板为正方形结构，所述托板的边长大于所述圆环形托盘的外径，所述托板为金属材料。

第二种，是增加一些固定的结构或者具备移动调节的结构。中芯国际集成电路制造(上海)有限公司和武汉新芯集成电路制造有限公司的专利《样品支架的取放装置以及扫描式电子显微镜》(ZL201020210203.0)所述样品支架包括一滑动部，所述样品支架的取放装置包括：底座以及设置于所述底座上的滑道，所述滑道与所述滑动部滑动连接。攀钢集团研究院有限公司和攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司的专利《扫描电子显微镜专用夹具》(ZL200820130579.3)，其包括基座，用于放置样品；设置在所述基座一端的第一夹持部，用于夹持所述样品且为夹持所述样品提供夹紧力；设置在所述基座另一端的第二夹持部，用于夹持所述样品和调整所述样品的位置。上海华力微电子有限公司的《应用于扫描电子显微镜的样品座》(ZL201220138262.0)，包括底座、设置于底座顶部的金属平台以及位于金属平台的工作面的弹性夹具，芯片样品直接放置在金属平台的工作面，所述弹性夹具压住芯片样品、并将芯片样品固定于金属平台的工作面。

第三种设计思路是在普通样品台基础上增加一些功能性结构或附件，从而实现某些特殊的测试需要。如上海钢铁研究所(CN87214469)提出了一种扫描电镜多功能加载样品台，包括一双步进马达对称加载系统，一对底板，安装在底板上的第一模板或第二模板，以及固定在模板上的传送杆，其中第一模板能固定进行带材或丝材拉伸试验的第一或第二试样夹头，第二模板能固定截面弯曲模，表面弯曲(压缩)模，剪切(冲压)模等。该样品台扩大了扫描电镜的使用功能，从而能对各种负载过程进行有效的模拟，并将测得的状态参数记录下来。继承这种设计思想的是山东建筑大学其专利号201020242090.2，201020251249.7，201020239339.4，201020232521.7，201020232512.8，201020232509.6，中各自增加了一些力学性能检测功能。

上述这些专利，共同的特点就是对样品台的改进，重新制作符合需求的新型样品台。而扫描电子显微镜所用样品台一般都是由高导电性的金属制成，但是单个精密金属制件的制造成本，一般企事业单位和个人无法承受。其次这些样品台无法解决粉末样品的固定问题，尤其是固定样品过程中，粉末样品之间由于误操作或者轻微振动造成的相互污染问题。

综上所述，发明一种样品安放辅助支架实有必要。

发明内容

本发明专利的目的在于提供一种样品安放辅助支架，在扫描电镜测试过程中，对于普通电镜平面样品台上，在样品固定于导电双面胶阶段，保证不影响原有操作和不改动任何部件的前提下，该上述辅助支架可以提供互相隔离的样品安置空间，有效避免样品之间的污染，以满足科研工作中的实际需要。