[发明专利]基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器

权利要求书

1.一种基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，包括：

一入射光源；

一光放大器，其位于入射光源的光路上，用于调节光功率；

一可调谐微环谐振腔，其位于入射光源的光路上，用于产生可调节的MHz量级光学振荡波形；

一光信号测试系统，其位于入射光源的光路上，用于测试输出光的信号；

一反馈控制系统，其输入端与光信号测试系统的输出端连接，其输出端与光放大器的控制端连接，其控制端与可调谐微环谐振腔的电极引脚连接，该反馈控制系统0提取输出光信号的码型和频率信息，并控制微型加热器的电流大小和持续时间，以及控制光放大器的输出光功率。

2.根据权利要求1所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的入射光源输出单波长连续波。

3.根据权利要求1所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的光放大器是掺铒光纤放大器，或半导体光放大器。

4.根据权利要求1所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的可调谐微环谐振腔包括：

一光学谐振结构，该光学谐振腔结构由一直波导和一环形波导组成，其中直波导两端为锥形波导耦合结构；

一温度调节结构，该温度调节结构由一微型加热器和电极引脚组成。

5.根据权利要求4所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的直波导和环形波导是条形结构、脊形结构或slot结构。

6.根据权利要求5所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的直波导与环形波导之间的间距为几十纳米至几百纳米。

7.根据权利要求6所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的直波导与环形波导的横截面尺寸为高度小于500纳米，宽度小于1微米，且保证最少有一个光传播模式。

8.根据权利要求7所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的直波导和环形波导的材料包括绝缘体上硅和在绝缘体上硅上制作的覆盖层。

9.根据权利要求1所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的覆盖层的材料是二氧化硅或氮化硅。

10.根据权利要求1所述的基于硅基微环谐振腔热光调谐机构的可调全光振荡器，其中所述的光信号测试系统包括：

一分束器，该分束器输出端分别连接有一光功率计和一信号检测系统；其中信号检测系统包括一高速示波器和/或频谱仪和/或光谱仪。