[发明专利]电容式湿度传感器

权利要求书

1.一种电容式湿度传感器，包括：

设置在第一平面上的上电极；

包括在所述上电极中的多个第一电极；

设置在所述第一电极之间的多个第二电极；以及

包围所述第二电极的湿度敏感层。

2.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，其中，所述第一电极在所述第一平面上彼此连接并且所述第二电极在所述第一平面上彼此分隔开。

3.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，还包括设置在所述第一平面下方的第二平面上的下电极。

4.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，其中，所述湿度敏感层填充在设置为比所述上电极的底表面深的沟槽中。

5.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，还包括焊盘区，所述焊盘区包括连接到所述第一电极的第一焊盘和连接到所述第二电极的第二焊盘。

6.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，其中，在所述上电极的上表面上设置有电极保护层。

7.根据权利要求6所述的电容式湿度传感器，其中，所述上电极的所述上表面具有弯曲的形状。

8.根据权利要求3所述的电容式湿度传感器，还包括将所述第二电极中的至少之一连接到所述下电极的第一通孔。

9.根据权利要求8所述的电容式湿度传感器，还包括连接到所述第一电极中的至少之一的第二通孔。

10.根据权利要求9所述的电容式湿度传感器，其中，所述第一通孔的深度与所述第二通孔的深度不同。

11.根据权利要求1所述的电容式湿度传感器，包括伪电极，所述伪电极从所述第一电极中的至少之一延伸并且位于两个相邻第二电极之间。

12.一种电容式湿度传感器，包括：

设置在第一平面上的上互连；

设置在第二平面上的下互连；

包括在所述上互连中的第一电极和第二电极；

包括在所述下互连中的连接到所述第二电极的下电极；以及

包围所述第二电极的湿度敏感层。

13.根据权利要求12所述的电容式湿度传感器，其中，所述湿度敏感层的深度小于所述第一平面的深度。

14.根据权利要求12所述的电容式湿度传感器，其中，所述第一电极和所述第二电极的上表面为弯曲的表面。

15.根据权利要求12所述的电容式湿度传感器，其中，所述湿度敏感层的所述深度位于所述第一平面与所述第二平面之间。

16.一种电容式湿度传感器，包括：

上电极，所述上电极设置在第一平面上并且包括彼此平行设置的两个或更多个第一电极；

多个第二电极，所述多个第二电极设置在两个相邻的第一电极之间并且在所述第一平面中在所述两个相邻第一电极之间形成排；以及

湿度敏感层，所述湿度敏感层设置在所述多个第二电极之间以及在所述第二电极的所述排与所述两个相邻的第一电极之间。

17.根据权利要求16所述的电容式湿度传感器，还包括多个伪电极，所述多个伪电极从所述两个相邻第一电极突出以设置在所述第二电极的所述排的两个相邻第二电极之间。

18.根据权利要求16所述的电容式湿度传感器，还包括：

设置在所述第一平面下方的第二平面上的下电极；以及

将所述多个第二电极与所述下电极连接的多个通孔。