[发明专利]基板反转搬送装置

权利要求书

1.一种基板反转搬送装置，其特征在于包括：吸附搬送机构，吸附应反转的基板并交付至下述反转机构；及反转机构，使自该吸附搬送机构接收到的基板反转并交付至下一步骤的平台上；且

所述吸附搬送机构与所述反转机构可在相互接近、背离的方向移动地形成，且以如下方式形成：

使吸附着所述基板的所述吸附搬送机构朝向所述反转机构移动的动作和所述反转机构朝向所述吸附搬送机构移动的动作同步进行，并使将所述基板交付至所述反转机构的所述吸附搬送机构从所述反转机构离开的动作和从所述吸附搬送机构接收所述基板的所述反转机构从所述吸附搬送机构离开的动作同步进行，

且在所述吸附搬送机构与所述反转机构移动至相互接近的基板交付位置时，进行自所述吸附搬送机构向所述反转机构交付基板，且

在所述吸附搬送机构与所述反转机构相互远离的位置，进行利用所述吸附搬送机构的基板的吸附动作与自所述反转机构向下一步骤的平台的基板的交付动作。

2.根据权利要求1所述的基板反转搬送装置，其特征在于：以所述吸附搬送机构的基板吸附动作和所述反转机构的基板反转动作同步进行，且，所述吸附搬送机构的基板吸附动作后的上升动作和所述反转机构的基板翻转动作后的恢复动作同步进行的方式形成。