[发明专利]一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法及装置

权利要求书

1.一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)准直后的照明光束经长焦距透镜聚焦，再通过物镜照射到样品表面发生全反射产生倏逝波，激发样品表层发出荧光；

2)收集的荧光经聚焦透镜后分为两路光束，一路光束由位于聚焦点前的探测器接收，另一路光束由位于聚焦点后的探测器接收，得到样品表层的焦前图和焦后图；

3)控制样品轴向移动，重复步骤1)和步骤2)中的操作，得到样品不同深度下的焦前图和焦后图；

4)对步骤3)中的焦前图和焦后图进行差分处理，将深度与差分结果进行拟合，得到深度和差分结果的标定曲线；

5)对样品表层的焦前图和焦后图进行差分处理，根据所述的标定曲线，实现样品表层各区域的轴向定位。

2.如权利要求1所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法，其特征在于，在步骤2)中，采用扫描振镜对样品不同部分发出的光进行扫描接收。

3.如权利要求1所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法，其特征在于，在步骤1)中，准直后的照明光束经长焦距透镜聚焦在显微物镜的后焦平面上，使得透过显微物镜的照明光束为平行出射光。

4.如权利要求3所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位方法，其特征在于，照明光束入射样品表面的角度大于临界角。

5.一种基于倏逝波照明的轴向高精度定位装置，其特征在于，包括：

沿光路依次布置的激光器、准直透镜、长焦距透镜、显微物镜和纳米平移台，该纳米平移台上放置有样品；

沿接收荧光光路依次布置的第一扫描振镜、会聚透镜、分光器，以及分别位于会聚透镜的聚焦点前和聚焦点后的第一光电探测器和第二光电探测器；

和用于控制纳米平移台和数据处理的计算机。

6.如权利要求5所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位装置，其特征在于，所述长焦距透镜和显微物镜之间依次设有第一反射镜、二色镜和第二反射镜。

7.如权利要求5所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位装置，其特征在于，所述的准直透镜和长焦距透镜之间设有第二扫描振镜。

8.如权利要求5所述的基于倏逝波照明的轴向高精度定位装置，其特征在于，还包括分别与第一光电探测器和第二光电探测器相适应的第一探测小孔、第二探测小孔。