[发明专利]一种金属凸点制造方法有效
| 申请号： | 201410184429.0 | 申请日： | 2014-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN104008983B | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王喆垚;杜玉欣 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60;B81C1/00;C23C18/32 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 制造 方法 | ||
1.一种金属凸点制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、在圆片上制作金属基底，所述金属基底由惰性金属制成；
S2、在具有金属基底的圆片上制作具有开口区域的模具，所述模具的开口区域与所述金属基底的位置相对；
S3、在具有所述模具的圆片的上方放置一个诱导金属板以形成诱导结构，所述诱导金属板与模具相对固定且二者之间具有间隙；
S4、将所述诱导结构置入化学镀液进行诱导化学镀，以在所述模具的开口区域形成金属凸点，在化学镀液中，所述诱导金属板的电势低于金属基底的电势；
S5、去除诱导金属板和模具。
2.如权利要求1所述的金属凸点制造方法，其特征在于，所述诱导金属板具有多个通孔。
3.如权利要求1所述的金属凸点制造方法，其特征在于，所述诱导金属板靠近所述模具的一面为中心凸起的凸面。
4.如权利要求1所述的金属凸点制造方法，其特征在于，步骤S3中，在模具和诱导金属板之间通过垫片连接，所述垫片位于诱导金属板的边沿。
5.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，所述金属基底和诱导金属板之间的距离为5-1000μm。
6.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，步骤S4中，所述诱导化学镀的条件为：化学镀液的pH为4.0-5.6，反应温度为72-98℃。
7.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，步骤S5中，去除诱导金属板和模具后，对所述金属凸点进行抛光以平整化。
8.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，步骤S5中，去除诱导金属板后，对所述金属凸点和模具进行抛光以平整化，之后去除模具。
9.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，所述金属基底由金、铂或铜制成，所述诱导金属板由镍、铁或不锈钢制成。
10.如权利要求1-4任一项所述的金属凸点制造方法，其特征在于，所述所述金属凸点的材料为镍。
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