[发明专利]一种晶圆定位起托器

说明书

所属技术领域

本发明涉及晶圆转送过程中使用的辅助装置，具体地说，涉及一种晶圆定位起托器。背景技术

在晶圆生产制造过程中，操作工根据检测需要，从晶舟盒中抽取指定的晶圆用于检测。晶舟盒上标注有编号，操作工根据指令抽取在指定的编号处从晶舟盒中抽取晶圆。编号通常印刷在晶舟盒的侧面，由于晶圆的厚度很薄，摆放在晶舟盒中，编号通常很密集，较难辨识。人工抽取过程中，容易抽取到错误编号位置的晶圆，造成生产事故。因此需要设计一种方便易识别的晶圆定位起托器，可以减少错误。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆定位起托器，定位指定编号的晶圆并托起。 

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：晶圆定位起托器，包括盒体，还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索，刻度盘与绕轴连接在一起，同轴转动，绳索一端锁定在绕轴上，另一端连接在锲形块上，所述的锲形块、绳索安放在盒体中，刻度盘放置在盒体外，绕轴垂直穿过盒体侧壁。刻度盘的直径与盒体高度相等。绕轴与刻度盘通过铆钉连接。 

    本发明的有益效果是，根据经验值在刻度盘上标注编号，通过刻度盘转动来托起晶圆。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。 

图1是晶圆定位起托器的结构示意图。 

图中1.盒体，2.刻度盘，3.绕轴，4.绳索，5.锲形块。 

具体实施方式

晶圆定位起托器，包括盒体1，还包括刻度盘2、绕轴3、锲型块5和绳索4，刻度盘2与绕轴3连接在一起，同轴转动，绳索4一端锁定在绕轴3上，另一端连接在锲形块5上，所述的锲形块5、绳索4安放在盒体中，刻度盘2放置在盒体1外，绕轴3垂直穿过盒体1侧壁。刻度盘2的直径与盒体1高度相等。绕轴3与刻度盘2通过铆钉连接。绳索4可以是钢丝绳。 

根据经验值在刻度盘上标注编号，通过刻度盘转动来托起晶圆。