[发明专利]一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜干燥方法有效
| 申请号： | 201410177342.0 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN103966577A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 田野;刘勇;罗飞;成波;刘大博 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 溶胶 镀膜 技术 薄膜 干燥 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜干燥方法，其特征在于，它包括以下步骤：
(1)将所需制备的金属化合物的无机盐或金属醇盐与无机或有机溶剂以及其它辅助添加剂充分混合反应，配制成所需膜材的前驱体溶胶并进行陈化；
(2)将溶胶通过提拉、旋涂或者喷雾热分解方法涂覆在清洁的衬底基片上形成湿膜；
(3)将涂覆溶胶的基片水平放入加热炉腔体正中，调整加热炉腔室内的加热源仅对称对在炉腔内的涂覆溶胶的基片左右两侧加热，加热至80～300℃，升温速率大于5℃/s，保温1～10min，使其干燥定型成膜，随后冷却至室温取出，即得到所需的干燥薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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