[发明专利]一种激光设备获取激光焦点的方法有效
| 申请号： | 201410177205.7 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN104002039A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 高子丰;苏培林;覃涛;吕洪杰;翟学涛;杨朝辉;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光设备 获取 激光 焦点 方法 | ||
1.一种激光设备获取激光焦点的方法，该激光设备包括软件操作系统、加工扫描系统、Z轴运动控制系统和监测系统，该Z轴控制系统上设置有聚焦系统，其特征在于，所述方法包括：
(1)确定焦点在Z轴坐标上对应范围H1；
(2)编制加工文件，将待加工文件设置为若干个加工层，每个加工层分别对应范围H1内的Z轴坐标；
(3)通过软件操作系统将每个加工层的信息传输给加工扫描系统和Z轴运动控制系统，形成完整三维坐标系并得到加工图形；
(4)通过监测系统对不同加工层的加工图形进行线宽监测，得到多个线宽值；
(5)通过将多个线宽值按拟合为一条曲线，曲线上最细的点所对应的Z轴坐标即为焦点所在位置对应的Z轴坐标。
2.根据权利要求1所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述步骤(1)中，
对应范围H1是通过调节Z轴高度，根据光斑由大变小，再由小变大过程所对应的Z轴坐标为对应范围H1，该对应范围H1包括若干光斑大小相同但对应不同的Z轴坐标。
3.根据权利要求2所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述任意两个相邻的Z轴坐标之间具有相同的差值。
4.根据权利要求3所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的Z轴运动控制系统是通过电机进行控制其在Z轴上的上下移动。
5.根据权利要求4所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的电机 是直线驱动电机或步进驱动电机。
6.根据权利要求1所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的监测系统是显微镜。
7.根据权利要求1所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述加工文件为同一材质待加工材料所得到的加工文件。
8.根据权利要求7所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的加工文件可分为一个3x3的矩阵方块，每一个方块为一个加工层。
9.根据权利要求8所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的矩阵方块中，每一个加工层用不同种颜色进行区分。
10.根据权利要求2所述的获取激光焦点的方法，其特征在于：所述的对应范围H1包括最小光斑，该最小光斑两端任一一对大小相同光斑对应的Z轴坐标即为对应范围H1的起点和终点。
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