[发明专利]一种等离子体处理的工艺控制方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及控制技术领域，尤其涉及一种等离子体处理的工艺控制方法及装置。

背景技术

等离子体技术是真空处理技术中最常用的方法之一，广泛应用于表面物质的刻蚀和各种薄膜的制备。等离子体处理工艺中，工艺参数多且杂，一个完整的工艺操作过程包括大量的步骤，而每个步骤又包含大量的参数变量，采用传统的数据管理方式修改、增减及存储工艺数据，不够便捷，同时易产生参数设置错误或历史数据无法存储调用等问题。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题在于，提供一种等离子体处理的工艺控制方法及装置，可灵活根据配置的工艺数据，实时控制工艺设备执行相应的工艺操作。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种等离子体处理的工艺控制方法，包括：

获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；

通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作。

其中，所述方法还包括：

在工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；

将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；

根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。

其中，所述工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表；所述工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。

所述方法，还包括：

获取所述工艺组态监控设备根据所述工艺操作状态实时信息生成的至少一个统计图表；

通过基于所述OPC协议的数据通讯，将所述获取的至少一个统计图表发送给所述工艺流程参数管理表。

在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息之后，还包括：

指示所述工艺流程参数管理表实时存储所述工艺操作状态实时信息以备监控人员分析改进工艺操作过程。

所述方法，还包括：

当所述工艺流程参数管理表中包括至少两批工艺数据时，接收监控人员通过所述工艺参数管理表提供的下拉菜单所选择的控制指令；

通过基于OPC协议的数据通讯，将所述控制指令进行封装后发送给所述工业组态监控设备使工艺设备根据所述控制指令处理所述控制指令指示批次的工艺数据；

其中，所述控制指令包括运行或停止某个批次的工艺数据。

相应地，本发明实施例还提供一种等离子体处理的工艺控制装置，包括：

工艺数据获取模块，用于获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；

工艺数据发送模块，用于通过基于OPC协议的数据通讯，对所述工艺数据获取模块获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作。

所述装置还包括：

工艺操作状态实时信息获取模块，用于在工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及相关工艺步骤下实际工艺参数；

对比模块，用于将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；

控制模块，用于根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。

其中，所述工艺流程参数管理表包括用于数据处理和统计分析的EXCEL表；

所述工业组态监控设备包括用于从工艺设备获取工艺操作状态实时信息和命令工艺设备执行工艺操作的可编程控制器，以及组态软件。

实施本发明实施例，具有如下有益效果：