[发明专利]一种GaAs基近红外波段含Sb多层量子点与非对称量子阱耦合激光器结构有效
| 申请号: | 201410172871.1 | 申请日: | 2014-04-22 |
| 公开(公告)号: | CN104037618B | 公开(公告)日: | 2017-01-18 |
| 发明(设计)人: | 尤明慧;于新雨;李占国;刘景圣;李士军;欧仁侠;高欣;樊娟娟;孙启响;于秀玲;李雪;梁雪梅;史明非;孙连志 | 申请(专利权)人: | 吉林农业大学 |
| 主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 gaas 红外 波段 sb 多层 量子 对称 耦合 激光器 结构 | ||
1.一种GaAs基近红外波段含Sb多层量子点与非对称量子阱耦合激光器结构,具体为:GaAs衬底(1);变Al组分的AlxGal-xAs限制层(2),其中Al组分x=0.35-0.9,n型掺杂浓度从1.0×1018cm-3渐变到5.0×1017cm-3,厚度1200nm;Al0.35Ga0.65As波导层(3),厚度400nm;5对In0.18Ga0.82As/In0.30Ga0.70Sb/In0.31Ga0.69As量子点和量子阱耦合层(4),其中In0.18Ga0.82As厚度为6nm,In0.30Ga0.70Sb量子点平均高度12nm,In0.31Ga0.69As厚度为12nm;Al0.35Ga0.65As波导层(5),厚度400nm;变Al组分的AlxGal-xAs限制层(6),p型掺杂浓度从5.0×1017cm-3渐变到1.0×1018cm-3,厚度1200nm;GaAs盖层(7),掺杂浓度1.0×1019cm-3。
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