[发明专利]热处理方法及热处理装置

权利要求书

1.一种使用热处理装置的热处理方法，所述热处理装置具备：

炉体，其形成作为处理空间的第一空间；

壁体，在其内部形成与所述第一空间连通的第二空间，并具有第一壁部、第二壁部、及可以从外部向所述第二空间内供应气体的第二空间供应口；

旋转体，其可以在所述第一空间内搬运被处理物，并从该第一空间侧朝向外部空间依次贯通所述第一壁部、所述第二空间、及所述第二壁部，而使其一端从该第二壁部突出；

驱动单元，其与所述旋转体的所述一端侧连接并可以使该旋转体进行旋转驱动；

第一轴承，其设置在所述旋转体贯通所述第一壁部的部分，是可旋转地支撑该旋转体且具有可以使气体向所述旋转体的贯通方向流通的间隙的滚动轴承，及

密封构件，其设置在所述旋转体贯通所述第二壁部的部分，并且密封性与所述第一轴承相比更高，其中，

所述热处理方法包括通过所述驱动单元使所述旋转体进行旋转驱动来在所述处理空间搬运所述被处理物的同时对其进行热处理的工艺，

在所述工艺中，经由所述第二空间供应口向所述第二空间内供应与所述第一空间的气氛相比压力更高的气体。

2.根据权利要求1所述的热处理方法，其中，

所述炉体具有可以排出所述第一空间内的气氛的排气口，

在所述工艺中，以所述第一空间的气氛保持在规定压力的方式，从所述排气口排出所述第一空间的气氛并向所述第二空间供应气体。

3.根据权利要求2所述的热处理方法，其中，

所述炉体具有可以向所述第一空间内供应气体的第一空间供应口，

在所述工艺中，以所述第一空间的气氛保持在规定压力的方式，从所述排气口排出所述第一空间的气氛并向所述第一空间及所述第二空间供应气体。

4.根据权利要求3所述的热处理方法，其中，

所述热处理装置具备：

第一配管，其与所述第一空间供应口连接；

第二配管，其与所述第二空间供应口连接；及

共用配管，其与所述第一配管及所述第二配管连接，

在所述工艺中，通过向所述共用配管供应气体，将与所述第一空间的气氛相比压力更高的气体经由该共用配管及第二配管而向所述第二空间内供应，并且将气体经由所述共用配管及所述第一配管向第一空间内供应。

5.根据权利要求4所述的热处理方法

所述热处理装置具备：

第一流量调整阀，其与所述第一配管连接并用于调整该第一配管的流量；和

第二流量调整阀，其与所述第二配管连接并用于调整该第二配管的流量，

在所述工艺中，通过向所述共用配管供应气体，将由所述第一流量调整阀调整流量的气体经由该共用配管及所述第一配管而向所述第一空间供应，并且将由所述第二流量调整阀调整流量的气体经由该共用配管及所述第二配管而向所述第二空间供应。

6.根据权利要求5所述的热处理方法，

所述热处理装置具备：

第一减压阀，其设置在所述共用配管和所述第一配管中的至少一方，且设置在比所述第一流量调整阀更靠近上流侧的位置；和

第二减压阀，其设置在所述第二配管中的比所述第二流量调整阀更靠近上流侧的位置，其中，

所述第一减压阀将下流侧的气体压力减压至比所述第一空间的气氛压力更高的第一压力，

所述第二减压阀将下流侧的气体压力减压至比所述第一空间的气氛压力更高的第二压力，

在所述工艺中，向所述共用配管供应压力超过所述第一压力及所述第二压力的气体。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的热处理方法，其中，

所述热处理装置具备：

搬运路，其用于在所述外部空间和所述第一空间之间搬运所述被处理物；

上方空间形成部，其用于形成上方空间，所述上方空间设置在所述搬运路的铅垂上侧并在铅垂下侧形成开口且与该搬运路内连通；

下方空间形成部，其用于形成下方空间，所述下方空间设置在所述搬运路的铅垂下侧并在铅垂上侧形成开口且与该搬运路内连通，

在所述工艺中，将所述第一空间的气氛加热至高于外气的温度，并吸引所述上方空间和所述下方空间中的至少一方。