[发明专利]抗蚀剂用聚合物以及包含该聚合物的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种具有以下化学式1所示结构的抗蚀剂用聚合物，其中，

化学式1

在所述化学式1中，

R₁选自如下组中：氢原子；羟基；缩醛基；腈基；被选自由卤基、腈基、羟基、烷氧基、缩醛基、酰基、醛基、羧基以及酯基所组成的组中的一种以上取代基取代或未取代的碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、碳原子数为6～30的芳基、硅烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为3～30的环烷基以及环内包含至少一种选自由N、P、O以及S所组成的组中的杂原子的碳原子数为2～30的杂环基；以及它们的组合，

R₂为碳原子数为1～20的烷氧基，

R₃及R₄分别独立为选自由氢原子、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为1～20的卤代烷基、碳原子数为6～30的芳基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为3～30的环烷基及其它们的组合所组成的组中，或者彼此结合形成在环内包含氧原子的杂环基，

a和b在满足a+b＝1的条件下，0<a/(a+b)<1，0<b/(a+b)<1。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂用聚合物，其中，

所述R₁选自由氢原子、羟基、缩醛基、腈基以及由下述化学式2所表示的官能团所组成的组中：

化学式2

在所述化学式2中，

n是1～3的整数，

R_a选自由氢原子、羟基以及缩醛基所组成的组中，

所述R_b为选自由所组成的组中的酸敏感基，此时，R’、R”和R”’分别独立为选自由碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～30的环烷基、羟基、(碳原子数为1～10的烷基)环烷基、羟基烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、(碳原子数为1～10的烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰烷基、羧基、(碳原子数为1～10的烷基)羧基、(碳原子数为3～18的环烷基)羧基及碳原子数为3～30的杂环烷基所组成的组中，或者彼此相邻的基团连接可形成碳原子数为3～30的饱和或不饱和的烃环或杂环，R””为碳原子数为1～10的烷基，z是0至3的整数，w是0至10的整数。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂用聚合物，其中，

所述抗蚀剂用聚合物为选自具有以下化学式1a至1x结构的化合物所组成的组中：

在所述化学式1a至1x中，R_b为选自由所组成的组中的酸敏感基，此时，R’、R”和R”’分别独立为选自由碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～30的环烷基、羟基、(碳原子数为1～10的烷基)环烷基、羟基烷基、碳原子数为1～20的烷氧基、(碳原子数为1～10的烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰烷基、羧基、(碳原子数为1～10的烷基)羧基、(碳原子数为3～18的环烷基)羧基及碳原子数为3～30的杂环烷基所组成的组中，或者彼此相邻的基团连接可形成碳原子数为3～30的饱和或不饱和的烃环或杂环，R””为碳原子数为1～10的烷基，z是0至3的整数，w是0至10的整数，其中，a和b在满足a+b＝1的条件下，0<a/(a+b)<1以及0<b/(a+b)<1。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂用聚合物，其中，

所述抗蚀剂用聚合物根据凝胶渗透色谱法聚苯乙烯换算的重均分子量为1,000至50,000g/mol。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂用聚合物，其中，

所述抗蚀剂用聚合物的重均分子量与数均分子量之比(Mw/Mn)的分子量分布为1至3。

6.一种抗蚀剂组合物，其含有权利要求1所述的抗蚀剂用聚合物。

7.根据权利要求6所述的抗蚀剂组合物，

相对于抗蚀剂组合物的总重量，所述抗蚀剂用聚合物的含量为3至20重量％。

8.根据权利要求6所述的抗蚀剂组合物，其中，

所述抗蚀剂组合物是反转显影用抗蚀剂组合物。