[发明专利]一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵

权利要求书

1.一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵，包括：基座（1）、压电悬臂梁（2）和液力端（3），其中压电悬臂梁（2）一端与基座（1）连接，另一端与液力端（3）的第一侧腔体（31）连接，基座（1）上的支撑臂与液力端（3）的第二侧腔体（32）连接；液力端（3)由橡胶材料构成的片状第一侧腔体（31）和第二侧腔体（32）内侧表面相对布置，边缘密封形成泵腔，由压电悬臂梁（2）带动第一侧腔体（31）弯曲实现所述泵腔的体积发生改变，结合第二侧腔体（32）上安装的进口单向阀（34）和出口单向阀（35），实现流体从入口管（36）流入、出口管（37）流出的运动；

其特征在于：所述基座（1）上的各支撑臂和压电悬臂梁（2）中心线相互平行，所述动力端可以与液力端（3）组装与拆卸；所述压电悬臂梁（2）与所述支撑臂交错布置，即在第一侧腔体（31）和第二侧腔体（32）结合面上的投影无重合区域。

2.根据权利要求1所述的压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵，其特征在于：所述支撑臂位置可以用新增压电悬臂梁替换，此时连接在第一侧腔体（31）上的压电悬臂梁（2）与连接在第二侧腔体连接的新增压电悬臂梁运动方向相反。

3.根据权利要求1所述的压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵，其特征在于：所述压电悬臂梁（2）可以是一个单晶片压电悬臂梁，也可以是一个双晶片压电悬臂梁；所述单晶片压电悬臂梁是压电材料薄片（21）层合到弹性基板（22）上构成的；所述双晶片压电悬臂梁是将弹性基板（22）层合在两个极化方向相同的压电材料薄片（21）之间构成的。