[发明专利]基于静电感应的传感器和传感方法

权利要求书

1.一种基于静电感应的传感器，其特征在于，包括用于对被探测物体的移动进行传感的传感部件，

所述传感部件由一个第一电极层和与之配合的一个第二电极层组成，所述第一电极层和第二电极层分隔设置并且互相电连接；

当所述被探测物体相对所述传感部件的第一电极层移动，使所述被探测物体所带的电荷在所述第一电极层上的电势改变，在静电感应作用下电荷在第一电极层和第二电极层之间流动形成电流；

其中，所述被探测物体预先带有电荷，或者，通过与传感器接触和分离使所述被探测物体带有电荷，

其中，该传感器还包括隔离层，所述隔离层用于隔离所述传感部件的第一电极层以及第二电极层，使二者隔离并且保持设定的相对位置。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述被探测物体通过与所述第一电极层接触后分离或者互相滑动摩擦使接触面积发生变化而带有电荷。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述第一电极层能够与被探测物体互相接触的表面的形状和尺寸相当。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述传感部件的第一电极层与被探测物体互相滑动的表面为光滑平整表面，或者为凹凸结构的不平整表面。

5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述第一电极层表面的凹凸结构为周期性凹凸结构。

6.根据权利要求2-4中任一项所述的传感器，其特征在于，所述第一电极层能够与被探测物体接触的表面的部分或者全部表面分布有微米或次微米量级的微结构；或者，所述第一电极层能够与被探测物体接触的表面经过化学改性处理。

7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，还包括摩擦层，所述传感部件的第一电极层贴合在所述摩擦层的下表面；

其中，所述被探测物体预先带有电荷，或者，通过与所述摩擦层接触后分离或者互相滑动摩擦使接触面积发生变化而带有电荷。

8.根据权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述摩擦层的材料为绝缘材料或者半导体；所述摩擦层的厚度范围在10nm到5mm之间。

9.根据权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述摩擦层与所述被探测物体能够互相接触的表面的形状和尺寸相当。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的传感器，其特征在于，所述摩擦层与被探测物体互相滑动的表面为光滑平整表面，或者为凹凸结构的不平整表面。

11.根据权利要求10所述的传感器，其特征在于，所述摩擦层能够与被探测物体接触的表面的部分或者全部表面分布有微米或次微米量级的微结构；或者，所述摩擦层能够与被探测物体接触的表面经过化学改性处理。

12.根据权利要求1或7所述的传感器，其特征在于，所述被探测物体不与所述传感部件接触，所述被探测物体为带电物体。

13.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述隔离层的材料为绝缘体材料。

14.根据权利要求1或13所述的传感器，其特征在于，所述传感部件的第一电极层和第二电极层均镶嵌在所述隔离层中，至少第一电极层的上表面露出所述隔离层；

或者，所述隔离层将所述第一电极层和/或第二电极层全部包裹住；

或者，所述隔离层和所述传感部件的两个电极层按照层叠方式设置，传感部件的第一电极层和第二电极层分别设置在隔离层的上下表面。