[发明专利]用于磁学和电学性质同步测量的SQUID密封腔系统有效
| 申请号： | 201410157558.0 | 申请日： | 2014-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN103885010A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 赵建华;王海龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01R31/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 磁学 电学 性质 同步 测量 squid 密封 系统 | ||
1.一种用于磁学和电学性质同步测量的SQUID密封腔系统，其特征在于，包括：
杜瓦系统(10)；
样品腔(40)，位于所述杜瓦系统(10)内；
样品杆(60)，其中段(61)和下段(63)伸入所述样品腔(40)内，待测样品(50)固定在样品杆下段(63)的样品托上；
传输台(20)，设置于所述杜瓦系统(10)的上方，与所述样品腔(40)密封连接，其上侧开口；
密封柱状体，固定于所述传输台(20)的上端，包括：
两侧开口的柱状体内筒(25)，其下侧密封固定于传输台(20)；
单侧开口的柱状体外筒(26)，其下侧开口，套接与所述柱状体内筒(25)的外侧，且两者之间通过挤压O型橡胶密封圈(27)实现密封，该柱状体外筒(26)的上方开孔；以及
快接接头(28)，密封固定于所述柱状体外筒(26)上方的开孔，该快接接头具有若干个导电针(28a)；
其中，导线(80)由待测样品的相应测试点引出，通过快接接头上的所述导电针(28a)由所述样品腔(40)内引出。
2.根据权利要求1所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述柱状体外筒(26)上侧开设具有内螺纹的圆孔，所述快接接头(28)的外周具有与该内螺纹相匹配的外螺纹，所述快接接头(28)与所述柱状体外筒(26)螺接。
3.根据权利要求2所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述柱状体外筒(26)和所述快接接头(28)之间压置O型橡胶密封圈(29)实现密封。
4.根据权利要求1所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述导线为漆包铜线。
5.根据权利要求4所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述漆包铜线通过无磁性胶带固定于样品杆上。
6.根据权利要求1所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述样品托为硅材料样品托。
7.根据权利要求6所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述样品托为长条形。
8.根据权利要求6所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述硅材料样品托由硅晶圆上沿直径切割而成。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述密封柱状体的形状为圆柱或立方柱，其材料为树脂玻璃。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的SQUID密封腔系统，其特征在于，所述样品杆(60)为碳纤维样品杆或无磁性塑料样品杆。
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