[发明专利]基板吸附结构、制作软性电子组件的设备及方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种基板吸附结构、制作软性电子组件的方法及静电贴附设备，特别是有关于一种具驻极体结构的基板吸附结构、制作软性电子组件的方法及静电贴附设备。

背景技术

目前玻璃显示器易碎、不耐冲击及高重量与厚度的缺失无法满足于轻量化、薄型化及可挠曲使用等需求的个人数字随身产品，以软性基板取代玻璃作为显示器基板不但可以解决上述问题，更可提供平面显示器在外型与卷曲性的设计自由度，是以可挠式显示器的研发已慢慢形成一股热潮。

然而，由于软性基板易于卷曲，使得可挠式显示器易具有组件制作成本高及制程复杂度高等状况，而导致大尺寸可挠式显示器的制程量产合格率难以提升。

发明内容

本发明的一实施例是提供一种基板吸附结构。上述基板吸附结构包括一驻极体载具，其中上述驻极体载具内具有至少10^-7库仑/cm²的静电荷以吸附一基板的一底面；一第一保护材料层，设置于上述驻极体载具上，且覆盖上述基板的一顶面的一部分。

本发明的另一实施例是提供一种基板吸附结构。上述基板吸附结构包括一驻极体载具，其中上述驻极体载具内具有至少10^-7库仑/cm²静电荷以吸附一基板的一底面；一累电驻极体层，设置于上述驻极体载具上，其中上述累电驻极体层的至少一表面与上述基板接触

本发明的又一实施例是提供一种制作软性电子组件的方法。上述制作软性电子组件的方法包括提供一绝缘载具；进行一第一充电制程，将至少10^-7库仑/cm²的第一静电荷注入上述绝缘载具中，以使上述绝缘载具成为带有静电荷的一驻极体载具；于上述驻极体载具上设置具有一软性电子组件的一基板，其中上述基板通过上述驻极体载具产生的上述静电荷而吸附于上述驻极体载具上；于上述驻极体载具上形成一第一保护材料层，其中上述第一保护材料层覆盖上述基板的一顶面的一部分。

本发明的另一实施例是提供一种用以静电贴附结合软性基板与载板的静电贴附设备。上述静电贴附设备包括一载板传输平台，用以承载及传送一载板；至少一充电装置，设置于上述载板传输平台上，其用以将至少10^-7库仑/cm²的静电荷注入上述载板，以成为一驻极体载具；一贴附式装置，设置于上述载板传输平台上，其用以将一软性基板贴附至上述载板上。

本发明的更一实施例是提供一种制作软性电子组件的方法。上述制作软性电子组件的方法包括提供一种静电贴附设备。上述静电贴附设备包括一载板传输平台，用以承载及传送一载板；至少一充电装置，设置于上述载板传输平台上，其用以将至少10^-7库仑/cm²的静电荷注入上述载板，以成为一驻极体载具；一贴附式装置，设置于上述载板传输平台上，其用以将一软性基板贴附至上述载板上；将载板置于上述载板传输平台上；利用上述载板传输平台将上述载板传送至上述静电贴附设备的上述充电装置内进行一充电制程，将至少10^-7库仑/cm²的静电荷注入上述载板；将软性基板置放于上述载板上；利用上述载板传输平台将上述载板和其上的上述软性基板一起传送至上述静电贴附设备的上述贴附式装置内进行一贴附制程，将上述软性基板贴附至上述载板上。