[发明专利]氧化铟锡靶材以及其烧结制备方法

权利要求书

1.一种氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，包括：

将靶材素坯置入烧结炉内；

保持所述烧结炉内常压空气气氛，以15-100摄氏度每小时的升温速率，提高所述烧结炉内温度直到温度达到第一高温，在所述第一高温下恒温4至10小时；

将所述烧结炉内的气氛转换为常压纯氧气氛，以20-100摄氏度每小时的升温速率，提高所述烧结炉内温度直到温度达到第二高温；

保持所述烧结炉内常压纯氧气氛，使烧结炉内温度在所述第三高温到所述第二高温的振荡区间内振荡5至30小时：

当温度达到所述第二高温时，即以50-300摄氏度每小时的升温速率提高所述烧结炉内温度直到温度达到第三高温，当温度达到第三高温时，即以150-300摄氏度每小时的降温速率降低所述烧结炉内的温度直到温度达到所述第二高温，返回；

所述第一高温不小于700摄氏度不大于900摄氏度，所述第二高温不小于1250摄氏度不大于1350摄氏度，所述第三高温不小于1500摄氏度不大于1650摄氏度；

将所述烧结炉内的气氛转换为常压空气气氛，以20-200摄氏度每小时的降温速率，将所述烧结炉内温度降至常温，即得所述氧化铟锡靶材。

2.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

以25摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第一高温，所述第一高温等于800摄氏度，在所述第一高温下恒温4小时；

以50摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第二高温，所述第二高温等于1300摄氏度，；

以50-300摄氏度每小时的升温速率或者降温速率，使所述烧结炉内温度在所述第三高温到所述第二高温的振荡区间内振荡15小时；

以100摄氏度每小时的降温速率使所述烧结炉内温度降至常温，即得所述氧化铟锡靶材。

3.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

以15摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第一高温，所述第一高温等于800摄氏度，在所述第一高温下恒温4小时；

以20摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第二高温，所述第二高温等于1300摄氏度，；

以50摄氏度每小时的升温速率或者降温速率，使所述烧结炉内温度在所述第三高温到所述第二高温的振荡区间内振荡15小时；

以20摄氏度每小时的降温速率使所述烧结炉内温度降至常温，即得所述氧化铟锡靶材。

4.根据权利要求1所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

以40摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第一高温，所述第一高温等于800摄氏度，在所述第一高温下恒温4小时；

以100摄氏度每小时的升温速率，将所述烧结炉内温度提高至所述第二高温，所述第二高温等于1300摄氏度，；

以300摄氏度每小时的升温速率或者降温速率，使所述烧结炉内温度在所述第三高温到所述第二高温的振荡区间内振荡15小时；

以200摄氏度每小时的降温速率使所述烧结炉内温度降至常温，即得所述氧化铟锡靶材。

5.根据权利要求1至4之任一所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

所述靶材素坯采用以下工艺制成：

将纯度不小于99.99%的氧化铟锡粉经研磨，过筛除去大颗粒得到比表面为7-14m²/g的粉末，将所述粉末通过液压或粉浆浇注成型得到所述靶材素坯。

6.根据权利要求1至4之任一所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

具体是，保持所述烧结炉内常压流动空气气氛，以15-100摄氏度每小时的升温速率，提高所述烧结炉内温度直到温度达到第一高温。

7.根据权利要求1至4之任一所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法，其特征是，

具体是，将所述烧结炉内的气氛转换为常压流动空气气氛，以20-200摄氏度每小时的降温速率，将所述烧结炉内温度降至常温。

8.一种由权利要求1至7之任一所述的氧化铟锡靶材烧结制备方法制成的氧化铟锡靶材。