[发明专利]一种带有上悬梁的RFMEMs开关无效
| 申请号： | 201410149883.2 | 申请日： | 2014-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103943419A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杨俊民 | 申请（专利权）人： | 苏州锟恩电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215153 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 悬梁 rfmems 开关 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有上悬梁的RF MEMs开关，包括RF MEMs开关，其特征在于：在所述RF MEMs开关的开关梁上海设有上悬梁。
2.如权利要求1所述的一种带有上悬梁的RF MEMs开关，其特征在于：所述上悬梁到开关梁的距离等于开关梁到RF MEMs开关底面电极的距离。
3. 如权利要求1所述的一种带有上悬梁的RF MEMs开关，其特征在于：所述上悬梁采用0.5μm厚的铝膜制作。
4. 如权利要求1所述的一种带有上悬梁的RF MEMs开关，其特征在于：所述开关梁材质为Au。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州锟恩电子科技有限公司，未经苏州锟恩电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410149883.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：负荷传感柱塞变量泵液压系统工作油组合物
- 下一篇：法兰错位调整装置
