[发明专利]电子束-汽化装置以及用于电子束-汽化的方法

权利要求书

1.一种电子束-汽化装置(100)，具有：

第一电子束源(102a)，设置用于提供第一电子束(112a)；

第二电子束源(102b)，设置用于提供第二电子束(112b)；

第一容纳区域(106a)，用于容纳至少一种第一材料(118a)；

第二容纳区域(106b)，用于容纳至少一种第二材料(118b)；

第一磁性转向结构(104a)，设置用于将第一电子束(112a)转向到第一容纳区域(106a)；以及

第二磁性转向结构(104b)，设置用于将第二电子束(112b)转向到第二容纳区域(106b)；

其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)相互磁性耦合。

2.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)借助于磁性耦合结构(204)相互磁性耦合。

3.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，其中，第一电子束源(102a)和/或第二电子束源(102b)具有电子束枪。

4.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，其中，第一容纳区域(106a)和第二容纳区域(106b)被布置在第一电子束源(102a)和第二电子束源(102b)之间。

5.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，第一容纳区域(106a)具有至少一个第一容器(108a)，用于容纳至少一种第一材料(118a)；和/或

其中，第二容纳区域(106b)具有至少一个第二容器(108b)，用于容纳至少一种第二材料(118b)。

6.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，至少一种第一材料(118a)容纳在第一容纳区域(106a)中；以及

其中，至少一种第二材料(118b)容纳在第二容纳区域(106b)中。

7.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，至少一种第一材料(118a)和至少一种第二材料(118b)是不同的材料。

8.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，第一容纳区域(106a)相比于第二容纳区域(106b)距第一电子束源(102a)更近；以及

其中，第二容纳区域(106b)相比于第一容纳区域(106a)距第二电子束源(102b)更近。

9.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，第一磁性转向结构(104a)和/或第二磁性转向结构(104b)具有磁体布置和/或线圈布置。

10.根据权利要求9所述的电子束-汽化装置，

其中，第一磁性转向结构(104a)具有第一磁体和/或第一线圈；

其中，第二磁性转向结构(104b)具有第二磁体和/或第二线圈。

11.根据权利要求9所述的电子束-汽化装置，

其中，磁体布置和/或线圈布置这样地设置，即，转向第一电子束(112a)的第一磁场和转向第二电子束(112b)的第二磁场相互相对地定向。

12.根据权利要求1所述的电子束-汽化装置，

其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)借助于至少一个轭(204)相互磁性耦合。