[发明专利]一种表面具有金属网格结构的硅基薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种表面具有金属网格结构的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于包括：硅基薄膜以及具有周期性空气孔的金属薄膜；所述具有周期性空气孔的金属薄膜位于硅基薄膜表面；而且，所述周期性空气孔穿透所述金属薄膜。

2.根据权利要求1所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述硅基薄膜材料为单晶Si。

3.根据权利要求1或2所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述硅基薄膜厚度在纳米级别，一般为100nm～500nm。

4.根据权利要求1所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述金属薄膜材料为Cu、Ag或Au。

5.根据权利要求1或4所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述金属薄膜厚度在纳米级别,一般为20nm～100nm。

6.根据权利要求1所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性空气孔的周期形状为正方形晶格。

7.根据权利要求6所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述的周期性空气孔的周期长度为200nm～400nm。

8.根据权利要求1所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述的周期性空气孔的空气孔形状为正方形。

9.根据权利要求8所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述的周期性空气孔的空气孔边长为160nm～240nm。

10.根据权利要求1～9所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述金属薄膜的沉积方法为磁控溅射沉积方式。

11.根据权利要求1～9所述的硅基薄膜太阳能电池，其特征在于，所述周期性空气孔是通过飞秒激光三维微细加工技术制备的。