[发明专利]一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构

权利要求书

1.一种全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：包括夹持器(1)、顶针(3)及升降气缸(4)，其中夹持器(1)为多个、沿离心机单元中承片台(6)的边缘均布，所述离心机单元中机壳外安装有数量与所述夹持器(1)数量相等的升降气缸(4)，每个所述升降气缸(4)的输出端均设有顶针(3)；所述夹持器(1)包括弹簧套筒(8)、弹簧(9)、限位套(10)及弹簧导向杆(11)，该限位套(10)安装在所述承片台(6)的边缘，所述弹簧套筒(8)罩在限位套(10)外，所述弹簧导向杆(11)可沿轴向方向升降地位于弹簧套筒(8)的内部，在最低时下端通过所述限位套(10)支撑，所述弹簧套筒(8)朝向晶圆(2)的内侧沿轴向开有条形口(14)，所述弹簧导向杆(11)的下端沿晶圆径向向内侧延伸、形成延伸部，该延伸部由所述条形口(14)穿出；所述弹簧(9)套设在弹簧导向杆(11)上，上端抵接于所述弹簧套筒(8)顶部的内表面，下端抵接于弹簧导向杆(11)的下端；所述升降气缸(4)驱动顶针(3)升降，所述顶针(3)由限位套(10)穿过、带动弹簧导向杆(11)升降，放置在所述承片台(6)上的晶圆(2)的边缘由所述弹簧导向杆(11)夹持。

2.按权利要求1所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述延伸部设有橡胶垫(12)。

3.按权利要求2所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述弹簧套筒(8)、弹簧导向杆(11)、限位套(10)及顶针(3)的轴向中心线共线，所述弹簧导向杆(11)通过由升降气缸(4)驱动的顶针(3)的带动沿轴向升降。

4.按权利要求2所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述弹簧导向杆(11)的上端由弹簧套筒(8)穿出，下端与所述限位套(10)抵接。

5.按权利要求2所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述延伸部的下方设有安装在承片台(6)上的支撑柱(13)，该支撑柱(13)位于所述限位套(10)的内侧；所述晶圆(2)边缘通过支撑柱(13)支撑。

6.按权利要求5所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述承片台(6)及其上安装的支撑柱(13)和夹持器(1)随承片台(6)通过所述离心机单元中的主轴电机(7)驱动旋转。

7.按权利要求6所述的全自动清洗晶圆边缘夹持机构，其特征在于：所述承片台(6)上均布有对晶圆(2)起限位作用、使所述晶圆(2)与承片台(6)位置同心的限位柱(5)，该限位柱(5)位于所述晶圆(2)的外侧。