[发明专利]伺服式加速度传感器

权利要求书

1.一种伺服式加速度传感器，具备：振子部，根据加速度进行位移；框部，支撑所述振子部；位移检测部，通过静电电容的变化检测所述振子部的位移；以及伺服电路部，根据所述位移检测部检测到的静电电容的变化量，向设置于所述振子部的线圈供给控制所述振子部的位移的电流，所述伺服式加速度传感器将所述伺服电路部供给的电流作为加速度输出，

其特征在于，

所述振子部和所述框部通过由一对振子部用印刷基板和一对框部用印刷基板夹入金属薄板部件而形成，

所述振子部的表面和所述框部的表面配置于同一平面，

所述振子部通过所述金属薄板部件被所述框部支撑，

所述金属薄板部件上形成有所述位移检测部的电极配线部和可挠部，所述可挠部兼作所述线圈的配线部且能够弯曲挠曲，

所述位移检测部和兼作所述线圈的配线部的所述可挠部未电连接，

所述位移检测部的壳体的表面接地，

所述位移检测部的电极配线部具有未电连接的两个电极配线部，

兼作所述线圈的配线部的所述可挠部具有未电连接的两个可挠部，

两个所述电极配线部以及两个所述可挠部形成作为所述金属薄板部件的一部分，

在所述振子部的前端侧形成有凸部，

在所述框部的、所述凸部朝向的位置形成有切口部，

构成所述凸部及所述切口部的所述金属薄板部件分别从所述振子部用印刷基板及所述框部用印刷基板突出。

2.根据权利要求1所述的伺服式加速度传感器，其特征在于，

所述位移检测部由在所述一对振子部用印刷基板上分别形成的电极和与这些电极相对的各个壳体构成。

3.根据权利要求2所述的伺服式加速度传感器，其特征在于，

所述各个壳体中的至少一个构成磁路。

4.根据权利要求2或3所述的伺服式加速度传感器，其特征在于，

在所述框部与所述各个壳体之间夹入配置有垫片，通过所述垫片的厚度，设定所述位移检测部的电极间间隙。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的伺服式加速度传感器，其特征在于，

所述电极配线部至少一部分弯曲而形成。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的伺服式加速度传感器，其特征在于，

所述金属薄板部件的被所述振子部用印刷基板和所述框部用印刷基板夹着的面上形成有多个孔。