[发明专利]适用于精密器具的低温沸腾精密清洗方法及清洗装置

权利要求书

1.一种适用于精密器具的低温沸腾精密清洗方法，其特征在于：先将器具放入清洗槽内，往清洗槽中加入清洗液，把器具浸泡在清洗液中，再密闭清洗槽，加热密闭清洗槽内的清洗液至40℃～50℃后，浸泡3～6分钟，浸泡后抽出清洗槽内的空气，将槽内真空度抽至-0.10MPa～-0.08MPa，在上述真空度下将清洗槽内的清洗液加热至沸腾，沸腾4～6分钟后，给清洗槽内通入空气，通入空气时继续加热清洗液至剧烈沸腾，剧烈沸腾4～6分钟后，对器具进行刷洗，刷洗完排出清洗液；接着，给排出清洗液后的清洗槽内加入纯化水，再次密封清洗槽，将槽内的纯化水加热至40℃～50℃后，抽出槽内空气，将槽内真空度抽至-0.10MPa～-0.08MPa，在上述真空度下加热清洗槽内的纯化水至沸腾，沸腾4～6分钟后，在沸腾的纯化水中漂洗器具，漂洗后给清洗槽内通入空气，通入空气时继续加热纯化水使之剧烈沸腾，剧烈沸腾4～6分钟后，在剧烈沸腾的纯化水中再次漂洗器具，漂洗完后排出纯化水；最后，抽干清洗槽内的水气，干燥器具，待器具干燥后，往槽内通入空气，使槽内气压与大气压达到平衡，开启清洗槽，取物，器具清洗完毕。

2.一种权利要求1所述适用于精密器具的低温沸腾精密清洗方法用的清洗装置，其特征在于：包括清洗槽和槽盖，在槽盖的底部设有一圈与清洗槽槽口内壁相对设置的连接部，连接部与清洗槽槽壁之间设有耐热密封层，耐热密封层固定在连接部上，连接部外的槽盖上设有方便开启槽盖的外沿，在连接部下方的清洗槽槽壁上部设有输入总管和抽气管，在清洗槽的底部设有排水管，所述抽气管与设在清洗槽外的真空泵相连，所述输入总管与设在清洗槽外的空气输送管、纯化水输送管、清洗液输送管相连，所述空气输送管、纯化水输送管、清洗液输送管、抽气管和排水管上均设有阀门。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于：在所述清洗槽的槽壁上设有透明视窗，透明视窗上装有测量清洗槽内液体温度的温度计。