[发明专利]离子注入浓度的校准方法

权利要求书

1.一种离子注入浓度的校准方法，包括：

获取二次离子质谱的实测曲线；

设置离子注入模型，所述模型为两个相互独立的Pearson函数线性相加，并由多个瞬间参数加以限定；

分别对所述多个瞬间参数进行调整，使得所述模型与所述实测曲线相吻合，从而获得最佳瞬间参数组，所述瞬间参数包括：投影射程Rp；标准差stdev；偏度γ，表征离子浓度分布曲线相对于平均值不对称程度的特征数；峰度β，描述分布形态的陡缓程度；

对所述多个瞬间参数进行调整包括：所述Rp对应着离子注入浓度的分布曲线的最大值所在的深度，若所述分布曲线的最大值位于所述实测曲线的最大值右侧，则调小Rp，若所述分布曲线的最大值位于所述实测曲线的最大值左侧，则调大Rp；

若所述分布曲线的峰值高于所述实测曲线，峰值两侧低于所述实测曲线，则调大stdev；若所述分布曲线的峰值低于所述实测曲线，峰值两侧高于所述实测曲线，则调小stdev；

若所述分布曲线相比所述实测曲线朝顺时针偏斜，则调大γ；若所述分布曲线相比所述实测曲线朝逆时针偏斜，则调小γ；

若所述分布曲线峰值右侧朝左端远离所述实测曲线，则调大β；若所述分布曲线峰值右侧朝右端远离所述实测曲线，则调小β。

2.如权利要求1所述的离子注入浓度的校准方法，其特征在于，所述模型为F_p(x)＝ratio·f_head(x)+(1-ratio)·f_tail(x)，其中，F_p(x)为离子注入浓度，x为注入深度，f_head(x)与f_tail(x)为两个相互独立的Pearson函数，ratio为非晶化剂量与总剂量的比例。

3.如权利要求2所述的离子注入浓度的校准方法，其特征在于，所述瞬间参数还包括所述ratio，若所述分布曲线的尾部低于所述实测曲线的尾部，则调小ratio；若所述分布曲线的尾部高于所述实测曲线的尾部，则调大ratio。