[发明专利]一种修复铜薄膜疲劳损伤的多次激光辐照处理方法

权利要求书

1.一种修复铜薄膜疲劳损伤的多次激光辐照处理方法，其特征为：其步骤为， 

步骤1）：提供制备疲劳损伤装置（4）和激光辐照修复装置，所述制备疲劳损伤装置（4）为微疲劳试验机，通过上夹具（41）和下夹具（42）夹持铜薄膜试样（5）；激光辐照修复装置包括紫外准分子脉冲激光器（1）、光路装置（2）、试样固定装置（3）和导轨（6），所述光路装置（2）包括固定螺栓（21）、凸透镜（22）、光路支架（23）和光路底座（24）；试样固定装置（3）包括金属板（31）、磁铁片（32）、固定装置支架（33）和固定装置底座（34）；首先，将光路支架（23）安装到光路底座（24）上，所述光路支架（23）为双节点套筒伸缩机构，其高度可通过底部的调节螺母自由调节；手持凸透镜（22），将其放置在光路支架（23）内框架的中间位置，通过拧紧固定螺栓（21）将凸透镜（22）固定住；其次，通过拧紧固定装置支架（33）上的两个螺栓将金属板（31）安装到固定装置支架（33）上，再将固定装置支架（33）安装到固定装置底座（34）上，固定装置支架（33）的高度是可以调节的；最后，将导轨（6）放置在激光器（1）的正前方，再分别将光路装置（2）和试样固定装置（3）放置在导轨（6）上； 

步骤2）：随机选取铜薄膜试样；利用2个磁铁片（32）将铜薄膜试样（5）固定在试样固定装置（3）中的金属板（31）中心位置； 

步骤3）：调整光路装置和试样固定装置的高度，使之与激光器发射口在一条直线上； 

步骤4）：通过调整光路装置和试样固定装置在导轨上的位置来 调整激光光斑的大小； 

步骤5）：通过激光器控制系统控制单脉冲能量和脉冲个数进行激光辐照处理； 

步骤6）：激光辐照处理后，将铜薄膜试样从试样固定装置上取下； 

步骤7）：通过微疲劳试验机对试样施加脉动循环，制备疲劳损伤； 

步骤8）：重复步骤2）、3）、4）、5）、6）、7），直至试样断裂。 

2.根据权利要求1所述的一种修复铜薄膜疲劳损伤的多次激光辐照处理方法，其特征在于：步骤1）中所述的脉冲激光器为紫外准分子脉冲激光器。 

3.根据权利要求1所述的一种修复铜薄膜疲劳损伤的多次激光辐照处理方法，其特征在于：整个过程中操作顺序是先进行激光辐照再制备疲劳损伤。 

4.根据权利要求1所述的一种修复铜薄膜疲劳损伤的多次激光辐照处理方法，其特征在于：所述激光辐照处理和制备疲劳损伤直至试样断裂。