[发明专利]晶闸管及其版图结构在审
申请号: | 201410139010.3 | 申请日: | 2014-04-08 |
公开(公告)号: | CN103928510A | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 葛雯;刘梅 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/423;H01L29/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶闸管 及其 版图 结构 | ||
1.一种晶闸管,其特征在于,包括:衬底;位于衬底中的N阱和P阱;位于N阱中的第一N型注入区及第一P型注入区;位于P阱中的第二N型注入区及第二P型注入区;以及位于N阱和P阱之间的第三N型注入区;其中,所述第二N型注入区和第三N型注入区之间形成有栅极结构,所述栅极结构通过电容与第一电平连接,所述栅极结构通过电阻与第二电平连接,所述第一电平高于第二电平。
2.如权利要求1所述的晶闸管,其特征在于,所述栅极结构包括氧化层及位于所述氧化层上的多晶硅层。
3.如权利要求2所述的晶闸管,其特征在于,所述电容由所述多晶硅层及位于所述多晶硅层上的金属层形成。
4.如权利要求3所述的晶闸管,其特征在于,所述多晶硅层与所述金属层之间还形成有介质层。
5.如权利要求3所述的晶闸管,其特征在于,所述金属层为铜金属层或者铝金属层。
6.如权利要求1~5中任一项所述的晶闸管,其特征在于,所述第一N型注入区与第一P型注入区之间、第一P型注入区与第三N型注入区之间、以及第二N型注入区与第二P型注入区之间均形成有隔离结构。
7.如权利要求1~5中任一项所述的晶闸管,其特征在于,所述第一N型注入区上、第一P型注入区上、第二N型注入区上、第二P型注入区上均形成有金属电极。
8.如权利要求7所述的晶闸管,其特征在于,所述第一N型注入区及第一P型注入区通过金属电极与第一电平连接,所述第二N型注入区及第二P型注入区通过金属电极与第二电平连接。
9.如权利要求1~5中任一项所述的晶闸管,其特征在于,所述第二电平为地电位。
10.一种晶闸管的版图结构,其特征在于,包括:衬底区;位于衬底区上的N阱区和P阱区;位于N阱区和P阱区上顺次排列的五个注入区区域;其中,第三个注入区区域与第四个注入区区域之间具有栅极结构区,所述栅极结构区上形成有金属线区。
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