[发明专利]一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法有效
申请号: | 201410138440.3 | 申请日: | 2014-04-05 |
公开(公告)号: | CN103913086A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 罗怡;王晓东;刘刚;李聪明;刘继光 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | F28D15/02 | 分类号: | F28D15/02 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 关慧贞;梅洪玉 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 mems 热管 工质 灌注 封装 装置 方法 | ||
1.一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置,包括真空泵、微量进样器、进样器长针、液封、软橡胶密封塞、三通、玻璃管、MEMS热管、阀和真空计;其特征在于,三通的一端是加工成倒锥形接头,称为倒锥形端,便于放置软橡胶密封塞;三通的另一端与倒锥形端保证同轴,加工成宝塔形接头,称为宝塔形端;第三端的最后一端,称为位置任意端;真空泵通过胶管连接阀,再连接三通的位置任意端;在真空泵与阀之间有真空计,MEMS热管与玻璃管连接,玻璃管通过胶管与三通的宝塔形端;三通的倒锥形端内部用软橡胶密封塞,在软橡胶密封塞的上部加液封,微量进样器与进样器长针通过卡扣连在一起,进样器长针在灌注工质时先后穿过液封和软橡胶密封塞沿三通和玻璃管到达MEMS热管空腔。
2.权利要求1所述的装置进行工质灌注与封装的方法,其特征在于,具体步骤如下:
第一步,利用真空泵将MEMS热管抽真空,真空度小于1Pa,关闭真空泵出口阀门,保持MEMS热管内部的真空状态;
第二步,将微量进样器的进样器长针穿过液封和软橡胶密封直到MEMS热管的空腔内,控制微量进样器将液体工质注射进MEMS热管中;
第三步,将微量进样器和进样器长针拔出,进样器长针的末端置于该灌注与封装系统的玻璃管以上部分;
第四步,加热玻璃管,玻璃管熔融密封管口,完成MEMS热管的工质灌注与封装。
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