[发明专利]一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜

权利要求书

1.一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜，包括在沿光路方向上顺次排列的第一反射镜M1、第二反射镜M2、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5以及第六反射镜M6；由所述第一反射镜M1、第二反射镜M2、第三反射镜M3和第四反射镜M4组成的第一镜组用于将物面成中间像于第五反射镜M5和第六反射镜M6之间，且所述中间像位于第六反射镜M6的下边缘下方，由第五反射镜M5和第六反射镜M6组成的第二镜组用于将所述中间像成像于像面上，其特征在于：所述第五反射镜M5和第六反射镜M6均在同一平面内偏心与倾斜，使得第六反射镜M6的下边缘对从第四反射镜M4反射的光束不产生遮拦，同时，第五反射镜M5上边缘对从第六反射镜M6反射的光束不产生遮拦。

2.如权利要求1所述的一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜，其特征在于，第一反射镜M1为凹面镜，其曲率半径为-2736.3151mm，口径为129.2593mm，与第二反射镜M2之间间隔为-363.3955mm，与物面距离为-639.9361mm；第一反射镜M1沿Y轴方向的偏心量为8.5955mm，绕X轴倾斜角为3.8272°；

第二反射镜M2为凹面镜，其曲率半径为943.2602mm，口径为182.1112mm，与第三反射镜M3之间的间隔为483.9877mm，第二反射镜M2沿Y轴方向的偏心量为0.0018mm，绕X轴倾斜角为-3.2814°；

第三反射镜M3为凸面镜，其曲率半径为308.5236mm，口径为53.4959mm，与第四反射镜M4之间的间隔为-197.0520mm，第三反射镜M3沿Y轴方向的偏心量为-0.3168mm，绕X轴倾斜角为-0.4209°；

第四反射镜M4为凹面镜，其曲率半径为443.3831mm，口径为58.9348mm，与第五反射镜M5之间的间隔为664.8039mm，第四反射镜M4沿Y轴方向的偏心量为-0.0022mm，绕X轴倾斜角为-0.0663°；

第五反射镜M5为凸面镜，其曲率半径为350.9966mm，口径为76.0702mm，与第六反射镜M6之间的间隔为-345.3178mm，第五反射镜M5沿Y轴方向的偏心量为0.1011mm，绕X轴倾斜角为-2.1341°；

第六反射镜M6为凹面镜，其曲率半径为418.1257mm，口径为301.2769mm，与像面之间的间隔为380.5230mm，第六反射镜M6沿Y轴方向的偏心量为0.8458mm，绕X轴倾斜角为2.0754°；

曲率半径的正、负号定义原则为：镜片的曲率中心到其顶点的方向与光路方向同向时定义为负，反之为正；

间隔的正、负号定义原则为：若当前表面与参考轴的交点到后一表面与参考轴的交点的方向与光路方向同向为正，反之为负；

偏心量的正、负号定义原则为：沿Y轴向上偏移为正，反之为负；

倾斜角的正、负号定义原则为：绕X轴逆时针旋转为正，反之为负；

XYZ坐标系的定义为：Z轴与所述参考轴平行且与光路方向同向，Y轴垂直于Z轴向上，X轴垂直Y轴与Z轴组成的平面；所述六片反射镜在YZ平面内偏心与倾斜。

3.如权利要求2所述的一种离轴无遮拦极紫外投影光刻物镜，其特征在于，所述六片反射镜均采用非旋转对称的自由曲面，每一片反射镜的自由曲面方程为：

Zo=cr21+1-(1+k)c2r2+Σj=266CjXomYon]]>

j=(m+n)2+m+3n2+1]]>

其中，r²＝X_o²+Y_o²为反射镜的曲率半径，c为自由曲面顶点曲率，k为非球面系数，C_j为多项式X_o^mY_oⁿ的系数，n取正整数，m取偶数；X_oY_oZ_o坐标系为反射镜的局部坐标系，Z_o为反射镜的局部光轴，Y_o轴垂直Z_o轴向上，X_o轴垂直于Y_o轴和Z_o轴组成的平面；

每个反射镜的曲面方程中参数具体取值如下：

 M1M2M3M4M5M6k-6.1916037890.272195980.0420061960.0260743280.4832854420.043074708C30.0061646330.038231299-0.005342382-0.015537189-0.10017549-0.011425787C4-2.12041E-05-7.13835E-06-8.53903E-05-2.09159E-054.37465E-054.26193E-07C63.22784E-051.19015E-056.23293E-064.4637E-06-7.9361E-065.60198E-07C84.52382E-07-4.38738E-08-2.17674E-07-1.97652E-071.03323E-06-2.40502E-08C101.90825E-07-9.09055E-09-2.1157E-07-2.05565E-08-7.8841E-07-3.2058E-08C111.66614E-09-1.36479E-10-2.5949E-096.34432E-115.86484E-094.4817E-11C132.70643E-09-2.55919E-10-9.98424E-10-1.13533E-091.73733E-088.84395E-11C151.37569E-09-3.84107E-11-1.78646E-098.50272E-111.01835E-083.75047E-11C17-1.25461E-11-5.5612E-13-1.96478E-132.32881E-12-1.9591E-10-1.18311E-13C19-1.72777E-11-2.18191E-121.43544E-11-2.89925E-12-2.6011E-10-2.85118E-13C21-4.46736E-12-7.65866E-133.8285E-12-1.13215E-13-1.1309E-10-1.40603E-13C22-2.58729E-14-1.75728E-153.41671E-14-1.04378E-151.08427E-124.31497E-16C24-3.0881E-14-4.12867E-151.4579E-131.30786E-142.37944E-121.24227E-15C263.55158E-154.22161E-16-1.13354E-137.89036E-151.90191E-121.09807E-15C28-1.92123E-142.10899E-15-2.88511E-14-9.22687E-169.62551E-132.45029E-16C302.68729E-16-1.17063E-182.23479E-152.79006E-177.67274E-15-5.73161E-19C324.73266E-168.58689E-181.70497E-154.88488E-178.38967E-15-1.7821E-18C341.27885E-16-1.7711E-172.57672E-165.01193E-17-3.0981E-15-2.37145E-18C367.1827E-17-5.39246E-18-5.39501E-17-1.60985E-183.06256E-15-8.03052E-19C374.23114E-19-1.10152E-207.97077E-182.53223E-19-1.3336E-172.57267E-21C394.88732E-19-1.49152E-193.54508E-173.53428E-19-1.2172E-171.03112E-20C41-1.53553E-18-2.32936E-19-4.39895E-182.9947E-191.02044E-161.61361E-20C433.13191E-19-1.79466E-197.7976E-184.87304E-205.40071E-179.64426E-21C458.44159E-19-9.54625E-219.24708E-19-7.77052E-21-4.7517E-172.39444E-21C47-4.86242E-21-3.8997E-221.80856E-192.05816E-21-3.6586E-19-5.33195E-24C49-1.29064E-204.35047E-222.13812E-191.31088E-21-1.8888E-18-1.64218E-23C515.61315E-21-1.63677E-22-1.15666E-191.24266E-21-8.963E-19-3.12509E-23C53-6.0851E-21-1.80811E-23-4.97337E-21-8.60398E-23-5.1962E-19-2.05319E-23C55-4.1416E-21-1.18669E-223.31778E-21-4.99259E-23-3.2051E-19-5.32307E-24C56-3.24613E-24-2.81223E-24-5.00376E-24-2.40612E-251.12722E-213.26745E-26C589.79153E-24-4.72577E-249.81426E-224.25408E-247.26423E-211.39872E-25C603.58487E-23-9.88812E-242.76211E-221.64607E-244.88614E-212.84179E-25C62-3.59423E-23-8.22867E-24-4.78535E-221.94161E-241.16125E-202.5035E-25C641.5211E-23-4.1484E-24-2.12168E-22-2.55649E-26-5.0354E-211.12702E-25C661.43412E-241.10573E-25-1.11799E-23-6.51036E-268.06319E-211.26799E-26