[发明专利]低能量离子铣削或沉积

权利要求书

1.一种用于使用带电粒子设备从工件（200、300）去除材料或在工件上沉积材料的方法，该带电粒子设备装配有： 

· 安装在可抽空样本室上、用于产生带电粒子束的柱， 

· 位于样本室中的样本位置，以及 

· 气体注入系统（201、301），用于将气体喷射（207、307）引导到所述样本位置， 

该方法包括

· 在样本室中的所述样本位置处提供所述工件，该样本室被抽空，以及 

· 将从所述气体注入系统出现的气体喷射引导到所述工件， 

该方法的特征在于 

所述带电粒子设备装配有被相对于所述工件被电偏置的电极，所述电极在气体喷射的至少一部分上引发电势，并且带电粒子束被引导到所述气体注入系统与所述工件之间的气体喷射或被引导到所述气体注入系统，作为其结果，所述带电粒子束直接地或间接地产生被加速至所述工件的二次离子。

2.权利要求1的方法，其中，所述气体注入系统装配有气体从其出现的毛细管（201），所述毛细管是电极。

3.权利要求1或权利要求2的方法，其中，所述带电粒子束是电子束。

4.权利要求3的方法，其中，所述电子束撞击所述毛细管，从而产生后向散射电子，所述后向散射电子继而使气体电离并因此产生二次离子。

5.前述权利要求中的任一项的方法，其中，在用二次离子使所述工件薄化之前，用由离子束柱产生的离子束薄化所述工件。

6.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述气体包括惰性气体。

7.权利要求1-5中的任一项的方法，其中，所述气体包括氧气或氢气。

8.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述气体注入系统被装配成在两种或更多种气体之间切换，因此能够产生具有时变的组成的气体喷射。

9.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述电极与所述工件之间的电压差小于500 eV。

10.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述气体注入系统与所述样本之间的距离小于1mm、更优选地小于250μm、最优选地小于125μm。

11.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述带电粒子束被扫描以定义其中产生二次离子的体积。

12.前述权利要求中的任一项的方法，其中，所述带电粒子束的电流被调制。

13.前述权利要求中的任一项的方法，其中，经由气锁将所述工件引入被抽空的样本室中。

14.权利要求1-12中的任一项的方法，其中，所述工件被引入有通风口的样本室中，所述样本室然后被抽空。