[发明专利]晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统。

背景技术

半导体元件在制作过程中通常包含一系列工艺，上述工艺按照一特定的顺序且通常在一特定的时间段内利用各种设备实现。晶圆制造厂（Fab）中的物料流系统的主要功能在于在正确时间点将晶圆传送到每一设备上，并追踪整个制造过程中晶圆的位置以及状态。

自动化物料搬运系统（Automated Material Handing System，AMHS）由于相对手动装置能更有效、一致、以及安全地实现自动化功能，因而近年来被广泛地用于物料流系统中。

当一晶圆传送盒（Front Opening Unified Pod，FOUP）欲传送时，一制造执行系统（Manufacturing Execution System，MES）将给出目标存储柜（Destination Stocker），之后，制造执行系统向自动化物料搬运系统中的物料控制系统（Material Control System，MCS）发出传送命令，后者接受命令后，通知一传送管理者执行该传送。上述执行该传送过程中，若遇到目标存储柜存满，即负载超过100%，则控制传送小车将晶圆传送盒传送至该目标存储柜的备用存储柜（Backup Stocker）。

上述过程中，会出现一些问题，例如制造执行系统给出的目标存储柜是静态的，只有当该目标存储柜负载超过100%时，才能存入备用存储柜，这造成某些存储柜负载较高，而某些存储柜的负载较低，自动化物料搬运系统时刻处于高风险中，而一次故障又会造成较大损失。

针对上述问题，也可以由软件供应商更改自动化物料搬运系统的软件，以降低其故障的几率，然而这需要较长时间周期且成本较大。

有鉴于此，本发明提供一种晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统，以较低成本降低自动化物料搬运系统故障的几率。

发明内容

本发明实现的目的是以较低成本降低自动化物料搬运系统故障的几率。

为实现上述目的，本发明的一方面提供一种晶圆传送盒的存储方法，包括：

当存储晶圆传送盒时，判断该晶圆传送盒的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，则将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；反之，则动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。

可选地，所述安全存储率的范围为小于85%。

可选地，所述动态获取备用存储柜的存储率是通过扫描每一备用存储柜的存储量加以获得。

可选地，动态获取备用存储柜的存储率是通过记录每一晶圆传送盒所在的存储柜加以获得。

可选地，动态获取备用存储柜的存储率中，所述备用存储柜是经过分类、适于存放该晶圆传送盒的备用存储柜。

可选地，所述动态获取备用存储柜的存储率中，若存在存储率超过安全存储率的备用存储柜，则记录该备用存储柜的信息，当下一晶圆传送盒存储时，该备用存储柜不再为该下一晶圆传送盒的备用存储柜。

本发明的另一方面提供一种实现晶圆传送盒存储的系统，包括：

制造执行系统，指定晶圆传送盒的目标存储柜，且判断该目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若超过，则发超过信息给实时派工系统、接收反馈信息，并将反馈信息发送给物料控制系统；若未超过，则发未超过信息给物料控制系统；

实时派工系统，收到所述制造执行系统的超过信息后，动态获取备用存储柜的存储率，并将存储率最低的备用存储柜的信息反馈给所述制造执行系统；

物料控制系统，当收到所述制造执行系统的未超过信息后，将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；当收到所述制造执行系统的反馈信息后，将晶圆传送盒存入所述反馈信息中存储率最低的备用存储柜。

可选地，备用存储柜的信息为存储柜的一维或二维识别码。

可选地，所述实时派工系统还包括记录模块，记录每一晶圆传送盒所存储的存储柜的信息。

可选地，所述记录模块还记录存储率超过安全存储率的备用存储柜的的信息。